磨削磨料加工技术的最新发展.pdfVIP

专题综述 磨削磨料加工技术的最新发展 Latest Advances in Grinding and Abrasive Machining 东北大学机械工程与自动化学院 蔡光起 冯宝富 赵恒华 ［摘要］ 概述了近年来磨削技术及其理论研究领 1 精密超精密磨削 域的最新进展，其中包括超精密磨削、研磨、抛光以及 超精密复合磨削，重负荷荒磨、砂带磨削、超高速磨削、 1 .1 超精密磨削 高效深磨技术，磨削自动化、数控化、智能化和虚拟化 采用超精密磨床、精密修整、微细磨料磨具、亚微 等方面的发展；另外，还介绍了砂轮修整、磨削液注入、 米级以下的切深和洁净的环境等可获得亚微米级以下 绿色磨削、表面完整性和磨削淬硬等方面的技术进步 的磨削尺寸精度。使用微细磨粒磨具是精密磨削的主 与最新成果。 要形式。用于超精密镜面磨削的树脂结合剂砂轮的金 刚石磨粒的平均粒径可小至 。 硅片的 关键词：磨削 磨料加工 精密磨削 高效磨削 4 m !300 mm ! 磨削自动化 集成制造系统采用单晶金刚石砂轮使延性磨削和光整 ［ ］ 加工可以在同一装置上进行，使硅片表面粗糙度达到 ABSTRACT Latest advances in grinding and its （ ），平面度达到 ／ ! !1 nm ! !5 nm !0 . 2 m !300 a y ! ， theory are summarized including super-precision grind- 〔〕 mm 1 。用8 000 粒度铸铁结合剂金刚石砂轮精磨 ， ， ing lapping polishing and superprecision hybrid grind- 非球镜面， 可达 ，形状精度很高。 SiC ! 2 # 5 nm a in ， ， ， g as Well as heavy duty grinding belt grinding su-