TiAl合金表面多层梯度薄膜的合成及对其抗高温氧化性能的影响.pdfVIP

TiAl 合金表面多层梯度薄膜的合成及对其抗高温氧化 性能的影响1 1 1 1 2 2 陈军 ，林国强 ，郝胜智 ，朱小鹏 ，王富岗 1.大连理工大学三束材料表面改性国家重点实验室，辽宁大连（116024 ） 2. 大连理工大学材料科学与工程学院，辽宁大连（116024 ） 摘 要：本研究工作利用改进型电弧离子镀设备的金属分离靶弧流控制技术，在 TiAl 合金 表面合成多元硬质梯度薄膜，明确合成梯度薄膜的工艺原则，并对成膜前后 TiAl 合金的抗 高温氧化性能进行测试。结果表明，用电弧离子镀技术制备多元硬质梯度薄膜，具有操作简 便、沉积速度快、成分调节范围宽等优点，可使TiAl 合金的抗高温氧化性能得到显著提高。 关键词：电弧离子镀，梯度薄膜，高温氧化 1. 前言 Ti-Al 金属间化合物由于晶体中金属键与共价键共存，使其同时兼有金属的韧性和陶瓷 的高温性能，以及由此产生的高的比强度、比模量、良好的抗氧化性、抗蠕变性及优良的高 温强度、刚度及密度等，使之优于目前广泛使用的金属及其合金，成为一类很有发展前景的 高温结构材料，目前实际应用的最大障碍是该化合物室温时的脆性、难变形加工性及800 ℃ [1] 以上抗氧化性不足 。 人们曾经尝试很多办法来提高 TiAl 合金的抗高温氧化性能，比如添加合金元素、发展 以TiAl 化合物为基的复合材料以及表面改性方法等，但效果都不甚理想[2-5] 。 Al 元素含量的提高可以较好地改善抗高温氧化性能，但会使材料脆性增大，降低其综 合机械性能。基于此考虑，我们尝试在TiAl 合金表面利用电弧离子镀技术合成Al 含量变化 的Ti-Al 梯度膜，从TiAl 合金基体到梯度膜表面，Al 元素含量逐渐升高，这样既可以使膜 －基体界面具有较好的相容性，又可增强其抗高温氧化性能。 硬质薄膜材料从八十年代的单一 TiN 开始，发展至今已经得到了很大的丰富， Subramanian 等[6]归纳总结后将它们化分为三代，第一代为TiN，第二代为TiCN 和TiAlN 等， 而第三代，即为种类丰富的多组元复合膜和多层膜体系，如Ti/TiN 、TiN/TiCN 、TiN/TiAlN 、 TiN/CrN 等等，其中若将多层膜结构无限细分下去，就引发出梯度薄膜的思想。实际上，早 在 1987 年新野正之等[7]就提出了梯度功能材料（FGM ）的概念，就是设计一种复合材料， 使材料的组分、结构、浓度等性质，随空间或时间以连续梯度缓慢过渡，从而使整体材料具 有某种特殊的功能。将这一思想借鉴到薄膜材料中，可在不增加原材料成本的基础上有效地 解决提高膜基结合力、减缓内应力、获取更佳的综合性能等问题，因而引起了人们的浓厚兴 趣。已有的研究表明，TiN- （TiAl ）N 梯度薄膜的性能优于普通的（TiAl ）N 薄膜[8,9] ， Ti-TiN-TiCN-TiC-DLC 梯度薄膜则极大地提高膜层的性能[10]，然而相对于其他复合薄膜，梯 度薄膜的开发与研究目前还报道较少，原因是它们的合成与制备尚存在一些难度，譬如较常 见的磁控溅射和空心阴极离子镀，都是因为成分控制范围过小而不能获得较大范围的梯度控 制；电弧离子镀技术虽在TiN 镀层生产中发挥极重要的作用，且仍是目前硬质薄膜技术的主 流[11]，但这类设备若只是具有普通功能，还是不能满足多元梯度薄膜的合成要求。 本文在俄产 BULAT6 型电弧离子镀设备上，经适当的国产化改造，使之具有必要的功 1本课题得到国家自然科学基金资助项目（项目号）的资助。 -1- 能条件，用对 向布置的纯金属分离靶弧流控制技术，以TiAl 合金为基体完成由里向外成分变化的硬质梯 度薄膜的合成，重点阐述合成梯度薄膜的工艺原则，并对 TiAl 梯度薄膜的结构和抗氧化性 能进行分析测试。 2. 设备功能条件及基本工艺方式 TiAl 多层梯度薄膜的合成在BULAT6 型电弧离子镀设备上进行，其结构