高气压均匀直流辉光放电等离子体的光学特性.pdfVIP

物理 学 报 ActaPhys．Sin．Vo1．64，No．4(2015) 045206 高气压均匀直流辉光放电等离子体的光学特性冰 王建龙 ) 丁芳2) 朱晓东 )十 1)(中国科学技术大学近代物理系，合肥 230026) 2)(中国科学院等离子体物理研究所，合肥 230031) (2014年6月24日收到；2014年8月28日收到修改稿) 在高气压 (大于i00Torr，1Torr=1．33322×10 Pa)平板位形的均匀直流辉光放 电中，一定条件下观察 到平行排列的明暗相间的等离子体辉纹．结合等离子体的光发射谱诊断，研究了气体组分对等离子体光学特 性的影响．研究发现，随着 甲烷浓度的增加，辉纹间距减小，相应的电子激发温度降低．当甲烷浓度增加时，等 离子体中低电离能的粒种增加，粒子平均电离能减小，这种情况下，电子被电场加速较短的距离所获得的能量 就可以激发粒子，产生可见的光发射，表现为辉纹间距缩短．随着氩气的引入，能够观察到明显的辉纹，且增 大氩气含量，辉纹间距增加，这与氩的较高电离能有关，而相应的电子激发温度增加．研究结果表 明，随着工 作气体的改变，等离子体辉纹间距呈现出一种对 电子温度的响应． 关键词：等离子体，高气压，光学特性 PACS：52．70．一m，52．70．Kz，52．80．Hc，52．80．Vp DOI：10．7498／aps．64．045206 在直流辉光放 电的早期研究中人们就 已观察 1 引 言 到辉纹现象 [4】．一般来说，等离子体中辉纹产生的 原 因复杂，尽管有较长 的研究历史，但至今对辉纹 相对于低气压放 电，高气压直流辉光放电等离 的形成机理仍存在着很多争论．用离子波、分步电 子体具有更多的活性粒子，在功能薄膜等离子体化 离以及表面电荷效应等来说明辉纹的形成机理 [5]． 学气相沉积 中有着重要的应用价值 1【，21．但随着工 很好地解释了一些实验观察．辉纹现象常出现在低 作气压的升高，辉光放 电的电流密度增加，气体温 气压直流、高频等辉光放 电条件下，但近年来在高 度升高，在低气压条件下通常不会显现的不稳定机 气压介质阻挡放 电中也观察到 了发光条纹 [6-9]． 理如热不稳定性和电子不稳定性增强 3【J’容易诱发 由于辉纹对 电子状态和 电离特性相当敏感，但 辉光放 电向弧放 电转变．任何介入式等离子体诊断 高气压辉光放电的气体温度升高，气体温度对放电 都会引起扰动，很难在实验中实现． 气体的激发、电离特性有较大的影响，从而破坏了 在高气压辉光等离子体中，碰撞导致的活性粒 电子的碰撞激发、电离规律，使辉纹不易被观察到． 子之间复杂的相互作用，使等离子体可在较宽的波 目前，高气压下平板 电极位形直流辉光等离子体被 长范围产生强电磁辐射，尤其是在200—800nm波 应用于功能薄膜沉积，但对辉纹的观察和实验研究 长范围内存在着大量的谱线．另一方面，带电粒子 还未见报道．对高气压均匀直流辉光等离子体的辉 间的相互作用也使等离子体本身产生 自组织现象， 纹研究，无论是对辉纹本身的机理还是对高气压辉 如在等离子体背景下形成的自组织辉纹．对这些光 光放 电过程的理解都是有意义的．本文进行了平板 学特性的诊断是研究高气压等离子体特性和放 电 电极位形高气压直流辉光放 电，在实验上首次观察 机理的理想的非介入方法． 到等离子体辉纹，并开展了气体组分对辉纹影响的 国家自然科学基金 (批准号1137519