DVD测头S曲线的变化规律受被测表面特性的影响.pdfVIP

第39卷，增刊 红外与激光工程 2010年5月 V01．39 InfraredandLaser May．2010 Supplement Engineering DVD测头S曲线的变化规律受被测表面特性的影响 董敬涛，卢荣胜，夏瑞雪，李勇 (合肥工业大学仪器科学与光电工程学院，安徽合肥230009) 摘要：光学探头由于其非接触和无损坏式的测量特性，在精密测量中受到了越来越多的关注。 其中，DVD激光头由于高集成度被广泛运用到了光学探头中。DVD激光头采用像散式的光学原理， 通过四象限探测器输出聚焦误差电压信号FES(即s曲线)。光学探头将该电压信号反馈回控制单元， 从而实现光学探头的自动控制功能。但实际中的被测物及其表面的特性各不相同，相应的S曲线变 化也各不相同。因此，在实验的基础上，重点讨论了DVD激光头在对具有不同特性的被测物测量时 S曲线的变化情况。这些不同的特性包括