分布式电极连续面型微变形反射镜力电耦合特性分析.pdfVIP

第 卷 第 期 强 激 光 与 粒 子 束 , 18 1 Vol.18No.1 年 月 , 2006 1 HIGH POWER LASER AND PARTICLE BEAMS Jan.2006 文章编号: ( ) 1001-4322 200601-0015-06 分布式电极连续面型微变形反射镜力电耦合特性分析* 刘 彦, 陈海清, 余洪斌, 吴 鹏, 向晓燕, 杨国元 (华中科技大学 光电子工程系,武汉 ) 430074 摘 要: 针对基于 技术制造的连续面型薄膜微变形反射镜,从薄膜理论出发对其力电耦合变形 MEMS 特性进行理论分析,导出了镜面变形表达式。利用该式及响应频率表达式,定量分析了镜面相关尺寸参数对变 形量的关系,为变形镜的结构设计提供了可靠的理论依据。结果表明,当镜面厚度为 1 m 且与驱动电极间距 µ 时,对控制电压不超过 ,响应频率大于 的应用场合,变形镜镜面半径应在 20 m 120V 50kHz 2.1 13.8mm µ ～ 之间进行选择。仿真结果显示,驱动电压较小时,镜面变形与驱动电压平方近似成线性关系。 关键词: 微变形反射镜; 力电耦合; 自适应光学; 静电驱动; 镜面变形 中图分类号: TN256 文献标识码: A 自适应光学是基于随机扰动理论和光波前重构理论发展起来的一个新兴的光学分支,是光机电技术相互 渗透而形成的交叉前沿学科。这种技术已广泛地应用在天文望远镜、星载详查相机等工作条件复杂、图像清晰 度要求高的大型光学系统中。近年来,其应用逐步扩展到高功率激光器系统领域,通过可变形反射镜对激光器 [ ] 内的热透镜效应引起的光束畸变进行有效地校正 1-2 。 变形镜作为一种常用的波前校正器在自适应光学系统中以及空间无线通信中都是不可或缺的重要部件。 过去,大多采用压电效应进行驱动的变形反射镜,驱动电压较高,而且体积庞大、成本高昂。随着基于硅微加工 技术的蓬勃发展,基于MEMS技术制造的微变形反射镜以低成本、低功耗、小体积等特点,被广泛地应用于各 [ ] 类自适应光学系统中3-5 。 本文从微变形镜的理论模型入手,推导出镜面力电耦合变形的表达式,为今后变形镜在闭环自适应光学系 统中反馈控制过程的优化,打下了理论基础。