不同氧流量条件下ZnO纳米棒阵列的形成及机理分析.pdfVIP

不同氧流量条件下Zn0纳米棒阵列的形成及机理分析 ／曹培江等 ·1 · 不同氧流量条件下ZnO纳米棒阵列的形成及机理分析 曹培江，解振宇，韩 舜，柳文军，贾 芳，曾玉祥，朱德亮，吕有明 (深圳大学材料学院，深圳市特种功能材料重点实验室，深圳陶瓷先进技术工程实验室，深圳 518060) 摘要 采用脉冲激光沉积结合化学气相沉积方法在 p-Si(111)衬底上制备了呈直立生长的ZnO纳米棒 阵列， 并且研究了氧流量对ZnO纳米棒尺寸、结晶特性等性质的影响。研究结果表明，在没有氧气的环境下无法生长ZnO 纳米棒；随氧流量减小，不同晶面上ZnO生长速率的不同导致 ZnO纳米棒长度减小、直径变粗、结晶质量变差、纳米 棒面密度减小。氧流量的减小使得znO纳米棒 中的氧空位缺陷含量增加，导致位于约520nm处的绿光峰增强。 关键词 ZnO纳米棒阵列 化学气相沉积 发光性能 中图分类号：0472+．3 文献标识码：A FormationandM echanism AnalysisofZnO NanorodArraysFabricatedat DifferentOxygen Flow Rates CAOPeijiang，XIEZhenyu，HANShun，LIUWeniun，JIAFang，ZENGYuxiang， ZHU Deliang，LU Youming (ShenzhenKeyLaboratoryofSpecialFunctionalMaterials，ShenzhenEngineeringLaboratoryforAdvanced TechnologyofCeramics，SchoolofMaterialScience，ShenzhenUniversity，Shenzhen518060) Abstract ZnO nanorodarraysperpendiculartothesubstrates surfacewerefabricatedonp-typesinglecrystal siliconsubstratesbypulsedlaserdeposition (PLD)andchemica1vapordeposition (CVD)methods．Theeffectsofdif— ferentoxygenflow ratesonthesize，crystallineproperty，andSOonofZnO nanorodshavebeenstudiedandfollowing resultshavebeenobtained．ZnO nanorod cantgrow withnooxygengasparticipating W ith thedecreaseofoxygen flow rate，thedifferenceofZnO growthrateondifferentZnO crystalfaceleadstothatthelengthofZnO nanorodbe— comesshorter，thediameterofZnO nanorodbecomesthicker，thecrystallinepropertyofZnO nanorodbecomespoor andthesurfacedensityofZnOnanoroddecreases．Thedecreaseofoxygenflowrate1cadstotheincreaseofv()content inZnO nanorod．andconsequentlyresultsintheenhancementofgreenlightbandatabout520nrn． Keywords ZnO nanorodarrays，CVD，opticalproperty 备一层 ZnO薄膜作为晶种层 ，再通过化学气相沉积方法制备 0 引言