用改进的快速傅里叶变换法评估一维标准样板线节距数据.pdfVIP

第 23卷 第 1期 光学 精密工程 Vo1．23 N()．1 2O15年 1月 OpticsandPrecisionEngineering Jan．2()15 文章编号 1004—924X(2015)01—0230—07 用改进的快速傅里叶变换法 评估一维标准样板线节距数据 李同保 ，翁浚婧 ，雷李华 ，李 源 ，蔡潇雨 ，马 艳 (1．同济大学 物理科学与工程学院，上海 200092； 2．上海市计量测试技术研究院，上海201203) 摘要 ：由于利用快速傅里 叶变换 (FFT)法定量测量标准样板 的平均节距时会因为频谱分辨率 af有 限而在数据分析过 中丢失信息，故本文对常用 的FFT法进行 了改进 。首先在 FFT的频谱中得到最大振幅值对应的频率分量 ，使用二 分法缩小_厂m 附近 的频率范围；然后利用连续傅里叶变换法寻找更大的振幅值与更精确 的_厂 以求得更接近真实值 的 线节距。为了验证该方法的可行性，利用 Matlab软件仿真被测标准样板 (TGD1)的轮廓图，比较了FFT与改进后 的 FFT对不 同扫描长度下数据的评估结果，并展示 了改进 FFT法评估时部分数据 的运算过程 。同时，通过计量型原子力 显微镜实测 20 m ×2ptrn内的 TGD1形貌。两种评估法下 的数据 比对结果显示 ：改进 FFT评估后 的线节距为 (277．84 ±0．39)nm，符合标称值 (278±1)nIn，验证 了改进后 FFT方法对线节距求解的准确性与合理性 。 关 键 词：快速傅里叶变换法 ；线节距 ；一维线间隔标准样板 ；微纳米计量 中图分类号 ：TB92；0438．2 文献标识码 ：A doi：10．3788／OPE0230 Evaluation ofdataforone—dim ensionalgratings by improved fastFouriertransform m ethod LITong—bao，WENGJun—jing ，LEILihua’，LIYuan ，CaiXiao—yu ，MA Yan (1．SchoolofPhysicsScienceandEngineering，TongjiUniversity，Shanghai200092，China； 2．ShanghaiInstituteofMeasurementandTestingTechnology，Shanghai201203，China) *C0，．，．已s0 咒gauthor，E-mail：registerc@163．corn Abstract：An improved FastFourierTransform (FFT) method wasproposed to solvelhe lack Of informationresultedfrom frequencyresolutionlimitationoftheFFT．Firstly，afrequencycomponenl f which iscorrespondingtothemaximum valueofamplitudeF(fm )wassearchedwithFFT method，andthefrequencyscopearoundf wasreducedbythedichotomy．Then，theinverse Fouriertransform wasusedtoseekalargervalueofamplitudeintheextentscopeincludingthe as the center． The frequency scope willbe bisected every iteration until smaller than the targel uncertainty．ToprovethevalidityoftheimprovedFFT method，ameasuredobject (TGD01)was