磁控溅射碳纳米管SnO2材料性能的研究.pdfVIP

第29卷第3期 《陶瓷学报》 Vo1．29．NO．3 2008年9月 JOURNAL 0FCERAM ICS Sep．2008 文章编号：1000-2278(2008)03-0264-03 磁控溅射碳纳米管 SnO2材料性能的研究 林 伟 l-，。 黄世震 1．2-。 陈文哲 (1．福州大学材料科学与工程学院，福州350002；2．福州大学物理与信息工程学院，福州350002； 3．福建省微 电子集成电路重点实验室，福州350002) 摘 要 采用磁控溅射的方法制备薄膜型碳纳米管SnO气敏元件，通过对气敏元件在不同气体中的响应进行分析，以及对气敏元件 进行SEM和XRD实验，研究碳纳米管SnO材料的气敏性能。实验表明：磁控溅射碳纳米管SnO气敏元件对NO气体有很高的 灵敏度，对其他气体不敏感。 关键词 磁控溅射，碳纳米管，SnO。，气敏元件，NO 中图分类号：TB383 文献标识码：A 将元件焊在基座上进行测试。 1 引 言 2．2实验结果 2．2．1灵敏度实验 近年来，关于碳纳米管在气敏方面的研究，一直 采用静态测试法，对制备的气敏元件进行检测。 是当今学术界的一个研究热点。K．Liu等人[1研究了 NO气体是大气中对环境和人类健康危害十分严重 用多壁碳纳米管(MWNT)制作的气敏传感器。磁控溅 的污染物之一，及时准确地获知环境中及有关污染 射方法是制备薄膜的一种重要手段，但迄今为止 ，没 源的NO气体的浓度，对环境监测和环境保护具有 有看到有关磁控溅射碳纳米管气敏传感器方面的报 重大的意义。在氧化性气体中气敏元件的灵敏度定 道 ，本文抛砖引玉，结合磁控溅射和碳纳米管的优 义为：R嘧R击，在还原性气体中气敏元件的灵敏度定 点，在气敏传感器方面的应用作了一些探讨。 义为：R ，其中，R 为气敏元件在 目标气氛中的 电阻值，R 为气敏元件在洁净空气中的电阻值。磁控 2 实 验 溅射碳纳米管SnO气敏元件对NO气体有很高的 灵敏度 2[-,31(图 1)，对其他常见气体不敏感(气体浓度 1000X10，结果见图2)。 2．1实验方法 2．2．2SEM实验 采用磁控溅射仪 ，选用多壁碳纳米管 (管径 从图3(a)上我们可以看到溅射完SnO 的表面 8—15nm，长度约50um)，经过无水乙醇的清洗、分散 很粗糙 ，是由团聚颗粒组成的多孔结构，将颗粒放大 等处理，在 sn靶材的表面旋涂一层碳纳米管薄膜 后，从图3(b)我们看到局部放大图中，掺杂的细长的 层，射频反应溅射SnO薄膜，实验条件为：溅射气压 碳纳米管缠绕在一起。 为 0．5Pa，Ar气体流量为 5．2SCCM，Ar：O2=：5：1， 2．2．3XRD实验 溅射功率为 150W，溅射的薄膜厚度为30nm