薄膜干涉的定域问题.pdfVIP

：丝!：．： ● 三墨塑!!!燮．!堂皇。，一一一一 ’薰胰干涉豹定壤明、 1 陈飞明1鸶会霞2 039) (1：藩阳工学院2．—辐洛阳汽牟有限公司河南洛阳47l ■要奉文从公诅的相干范围孔径角公式出发，导出了定域中·。轨迹的精确方程，井在此基 础土，确定了定域深度的范围． 。 关键词薄膜干涉定域 ． 1引言 1 尊戚干涉的定域问题，已有不少文靛避}_行了讨论，其饭据几乎都是匮前所公认的相干 范圉孔径角公式，即JB s{，其中^为光波波长，b为扩展光源在劈尖主截面内的宽度， 扫 B为相干范圈孔径指，当b一定时，由该式可求得条蚊可则变为l的点所构成的轨迹(即 定壤中心孰述)，并黼定出可分辨；户甍绦绞所曾空博的大概粕(雄定壤深度．不谴，这 些文献给出的结论都是在不同的近玺【下褥出的．尚焉—个严格的定撼中÷瞄魄迹方程。摹窘上． 只要建立台逄的坐标系，其精确方程是不堆舞到托本文寻出了这一方毂．并由此■定了定 。 壤深度．+。。 ‘ ， 、：≤r： 2定■中心瓤连的椭方程 已有文麓证明：介质薄膜处于空气中的干涉， Y 可等效为一辛气羹曛来研究．因此，为简摹计，这 里仅讨蹙羹蔫麓尊‘荫空气劈尖．如图l所示。．s(o， y．)舞rJ鼢蝌脚心，s’(o．?蚰为s对^c葡的 s” 豢t坤s在尊羹E袭酉形成的等效相千点)， f2(y．+l--)tge，一(坩2l曲】为s对虻面的象．因 心。悲 。 此，蔓仟涉可理解为由相干光源s’和s-所形 成的． 设s处有一光蛾以入射角i射入劈尖，经^c、 Bc面反射矗务射奄撒l和2。则l箱2I|i臼辩奉 分别为哪瞳俯O一触)．它们的直姥方程分硝为 啊1啻毒由确摩士手薷 y+％=c螬l·J (1) )I+％+2^o=c辔0—2口)b一2(％+^o)留p】 (2) 由(1)和(2)消去i并整理后得 ． 三苎羔墨苎塑．．!塑曼生———————————————二望L ”华Ⅵy+华2=如2研埘8 (3)式即定域中心轨迹的糖确方程．值得一提的是，在推导该方程时未用任何近雠蠡件· 3定鼍中心牲的范围 翻2所看鼋，作入射线与^c面平行(它焉入射方向韵。极限位置，入射角为n)交虻面 o，方程为 于-．坐标为Hoc+y0哪口，yo)，骶的斜率为tB2 )I一％=fg∞(x—xc一)ro嘶p) (4) 即K在定域中悯九迹上，每一榭嚏位置．为蒯朔一寝限龃m过s作入射线与Bc面平 行，交^c面于z，其坐标为z(一yo咖日，D)，衄的斟率为馏伽一日)，方程为 y=喀协一D)0+yo咖归)：