JEM-1200EX型电镜皮拉尼规PIG4(RT)的调整.pdfVIP

电子显t学摄 J．Cbin．EIectr．Micro自c．soc． 19(4)一645～6462000年 645 JEM一1200EX型电镜皮拉尼规 PIG4(RT)的调整 朱永哲1 李莲花2金英锦1文香兰1赵正林1金奎龙1 (1．琏边天学医学院电钝童}2．附属医院皮肤科，延吉133000) 3●{!^、，l；J●f}{，{≮^：；{；{，} H葛。我室的电t，由于PIG4印RT的皮拉尼规老化而使电镌的抽真空时间变为几小时，甚至选 几十小对。因此，藏们参考维謦手册的谓整方法对PIG4进行调整。 根据雏肇手册中介绍的VAC—DVS的PlG4的调整方法：首先，是将RT的皮拉尼规安装 刊照相室冉，利用照相室的高真空将P14的量小值调整为25“A(即TP4的电压为25mV)，之后， 正常位置上来，依次调整其他值的控制信号}1．P14值增加到220衅时(叩TR4的电压为 V13关闭．之后V10、V7、V5等依攻打开)。 另外，由于当PlG4的皮拉尼规及引线均安装到照相室上时，如果打开照相室门，P14就会一 直向z5舡A增加，并将照相室内舶压强达到大气压强之前产生停机信号。印照相室门无法打开。 因此，就不能在大气压时调整P14值为250“A。所以，必须首先使照相室处于大气压状态，之后， 使PIG4的皮拉尼规及引线安装刭照相室内，即使P14的值从开机时起就指示大气压的值，这时 打开麻檀塞门井调整其为250pA。 根据以上的分析，莸们制定了矾G4的调整步骤。并据此戚功地调整了PIG4。现将此调整步 冀简单介绍如下： 1．开机，照相室救气，使照相室门打开。之后照相室门关闭的同时关机。 2．符DP泵油充分冷却后向RT内放气，使其达到大气压强状态。 原来PIG3的位置上)。 4．电镰开机，使其充分选到高真空状态． 5．关机．使电t完全停止运转。 6．将引线交换．即使原来RT的皮拉尼规(PIG4)并PIG4的引线和原来照相室的皮拉尼规 (PIG3)并珊G3的引线都安装到对方位置上。 7．开机，使机器进人正霄高真空状态。 SYSTEM SYSTEM 8．一整VAC PB上的电位嚣(以下步骤中说指电位器均指VAC PB上的电 位嚣)VRl(25p)，使P14值为25肛A。 9．美机，机嚣完全停止后，交换引线，即使机器各部件曲联接趾于步骤3结柬的状态． 10．开机，照相童放气，照相室门打开之后，再关上照相宣门，同时关机． 电子量t学报J．Chin．日∞tr．Mh帆．S∞． 19(4)-645～6‘62000年 11．机鼍完垒停止之后，交换引线．即使机器各部件的联接齄于步蕞6结柬的状态． 机，使机■完全停止． 之后茇黑相童处于大气状态，关上照相室门，即翔关机． 14．持DP泵油充分冷却后，向RT放气使RT的压强达捌大气压强状态。 15．皮拉尼规爰引缱复原．即使枫磊处于正常状态。 · (22舡)，使P14=220衅时产生停机信号，并使机器完全停止。 20卸^时产生RT优先信号。 盼璜攮真空，完毕。 l：I上步曩中t1．步■1～8是为了使机嚣在当交换PlG3的瘦拉尼规及引缓和PIG4的皮拉 尼麓爰引蝇的位量时，托使机器正常的进人高真空状态，并调整P14‘的值为25时。(即使TP4豹 电压值为25mV)．2．步骤9～12是为了在PIG3的皮拉尼规及引墁均安装在照相室上对，开机状 亳下使晨相室为大气压并P14的值高于22q耻A时不使机嚣停机，从而弭节P14的值在大气状态 雷工作的状态，并一蔓电位器VR4(220p)、VR5(20吣)、VR6(15qp)使其选列正常的值。 ●考文■