LIGA工艺叉指式微加速度计仿真分析和结构设计.pdfVIP

● 陈常江董景新 (清华大学精密仪器系北京100084) 蕾要敬棚了LIG^工艺蛸蚌秘租田LI儡工匏叮珂蒯啪瑚阱自啦．针对禹内目前对于L赚 工艺的研究直甩瑗轶琵计了—怦面里指式鞋加畦计，茸t瞎辘平行于控舅瞳t平氨对遍种加遮度计的结拘 ●教进行了计算柑砝计．并进行了有限元∞廛．量后培出了一个尺寸曲设计．太小￡l为2xh．捡耐质t孽{oD-． 分瓣为盂47h1旷． 关t词Ll盟．船甚嚏针，有瞳元仿真{F卧) l引言 LIGA(德语L曲。舯矗e Galva∞缸m啪gAb蜘mmg的缩鄂工艺是—种新型的微型结 构加工工艺，可以加工精确至微米纳米级尺寸的器件。是纳微米技术中的前沿加工工艺。 ● 目前广泛使用的微机械音口件加工工艺通常采用硅加工工艺，通过各向异性刻_蚀偈到 的微结构被应用于加速度计、微#宦螺、压力计和位移传感器中。但是硅加工工艺由于要考 虑结晶方向，所以对几何结构有很多限制。随着被加工结构性能、尺寸要求的日益提高， 与加工应力的矛盾日渐突出，在加工深度三维显微结构时传统的硅加工工艺就显出了它的 不足。 LIGA工艺应用离子反应技术刻蚀加工任意截面形状的徽结构。因为LIGA工艺是 建立在具有深度刻蚀性能的x光刻、电镀、电铸技术舶基础上，特点是结构具有根大的 深度，而目精度高、平行度好。这种工艺于90年代初期开始研究并得到应用，德国KarIsmhe 徽结构技术研究所1993年在Kad驯11e原子能研究中心采用UGA技术加工了—种高精 ● 度的加速度计，并在不断改进。 1．1 UC徂加工工艺原理 1．1．1 uGA加工工艺过程 图l为LIG徂工艺过程示意简图，工艺过程分为八步，最终完成了—个微结构实体 作为最终产品或其他金属微结构的模型。 1．1．2 uGA工艺与牺牲层技术结合加工可动部件 随着uGA工艺与牺牲层技术的有效结合，使加工不但可以加工等截面深层结拇微 机触结构成为可能，而且可以加工可动部件，这就进一步地拓宽了uGA工艺的应用领域， ● 其加工示意图如图2所示。 工艺过程是： 452 —■■———可覆—一 通过两次以上对不同材料的光刻使得最终电铸形成的铸垄由本体和牺牲层两个不同材 ● 料的部分组，将牺牲层去除以后，就形成了最终的可动结构． 这种方法特别应用于微型扭转式传感器表头部件的加工。 丫审丫1r’，， 1五石i2i石置r 圄卫匿圜圆圈 账螨 凿凿 删艇 砸 画 |{；， 网 画 艘 蜊螨 脚髫； 就 图l uGA加工原理示意图 图2可动部件的LIGA加工 2．t加童鏖计螭冉蹬计 t 2．I总体结构 徽加速度计采用双侧梳齿式微机械结构，敏感轴与基片相平行。检测质量两端通过 蛇形粱与基座连接固定，可以垂直于粱的方向移动。粱与检测质量块—体加工，质量块深 度较大，粱的z 向尺寸则较小．故需要应用牺牲层技术加工．