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Br-GDP薄膜的结构与红Jl-/紫外光谱分析
冯建鸿“2,卢铁城1’3,吴卫东+2
2.中国工程物理研究院激光聚变研究中心,四川I绵阳621900;
3.中国科学院国际材料物理中心,沈阳l10015)
惯性约束聚变(ICF)研究中,非晶碳氢因其特殊性能常被用作烧蚀层材料,
由于等离子体精密诊断及降低超热电子对氘/氚(D/T)燃料预热效应的需要,
会影响薄膜中原子的成键情况从而改变薄膜的理化性能,所以得到掺杂元素在
薄膜中的键合形式以及其对碳碳网络结构中sp2C、sp3C相对含量的影响就具有
非常重要的意义。
1实验方法
为单体,氢气(H2)为载气,室温条件在硅片、石英衬底上生长了掺溴非晶碳氢
溴掺杂及掺杂浓度对样品结构及光学性质进行了研究。
Wavenum
ber(cnl‘1)
Br-0at%;(b)Br-2.9at%;and(c)Br-3.8at%
图1CHBr薄膜的红外光谱
2实验结果与讨论
57
围内的红外全谱分析,发现1208cm。处的特征峰(CH2Br面内摇摆)随溴含量
的增加逐步增强;通过对2800.3100cmo的C.H伸缩吸收带的解谱分析发现随
薄膜中溴含量的增加,薄膜的光学带隙Eg由于掺杂效应的影响有所降低。
3结论
对含量分析结果的变化趋势。
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