溶液法PVDF压电薄膜极化工艺的研究.pdfVIP

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胡友珏等:溶液法PVDF压电薄膜极化工艺研究 365 溶液法PVDF压电薄膜极化工艺研究+ 胡友旺1’2,郇 彦2’3,刘雅言3,贾宏光1,吴一辉1 (1.中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室。吉林长春130033; 2.中国科学院研究生院,北京100039;3.中国科学院长春应用化学研究所,吉林艮春130022) 摘要:在分析了PVDF加热极化时其中单个偶极构强度低,很难将已极化后的PVDF薄膜很好的粘接 子的受力基础上,建立了PVDF薄膜加热极化的理论 模型,谊模型的分布基本符合玻尔兹曼分布且形式简 域的应用,而溶液法极化PVDF薄膜可以通过先将压 单,为进一步研究PVDF薄膜的极化机理提供了合理电薄膜制作在微结构上再进行极化的方式,直接将 而简单的理论模型。在PVDF的极化实验中,分别改PVDF薄膜固定在微结构上,克服难以粘接的缺点。 变极化温度、电场强度、极化时间等条件,系统地研究 本文在分析PVDF加热极化工艺原理的基础上,尝试 了它们对压电常数d。的影响。实验结果表明,本文的 建立了PVDF薄膜加热极化的理论模型,并在该模型 理论模型能较好的解释极化温度、极化电场强度对d。。 的基础上,研究了不同极化条件对极化常数d。的影 的影响,在对极化实验的设计和加深对PVDF极化原 理的理解等方面均有指导意艾。 用奠定了基础。 关键词:PVDFq极化;理论模型;极化条件;压电常 数 2工艺实验方法 中图分类号:TQ324.8 文献标识码:A 2.1样品制备 文章编号:1001—9731(2006l增刊一0365—04 采用美国ARKEMA公司的KYNARADS粉末, l 引 言 量取适量N,N一二甲基甲酰胺作为溶剂,一边搅拌,一 与传统压电功能材料相比,PVDF(聚偏氟乙烯: 边放人PVDF粉末,使PVDF完全均匀溶人溶剂中, fluoride polyvinylidenepolymer)压电薄膜具有压电效 使其混合均匀,溶解充分,并用超声振荡驱除其中的气 应强、重量轻、柔性好、声阻抗低、可以加工成特定形状 泡,再用细孔无纺纱布过滤,过滤消除其中的“团溶”; 和用普通胶粘合等突出的优点,因此是近年来发展较 放人真空烘箱中,抽气减压,进一步消除其中的气泡; 快的一种新型高分子敏感和换能材料,PVDF薄膜在 取一片表面镀有电极的硅片(或玻璃),在其上滴上 压力传感器、测振器、水听器、光学、新型电池等方面均 PVDF溶液,用不同的转速旋涂,使硅片表面涂有一层 具有广阔的应用前景““]。 薄的PvDF溶液,溶液层的厚度可以通过旋转速度的 目前PVDF薄膜传统的极化工艺是将滚压成膜 不同来调节,在本文的实验中,PVDF的厚度约为 的PVDF薄膜经过拉伸、极化形成压电特性。这是因 309in;再将带有PVDF薄膜的硅片放人真空烘箱里, 为PVDF薄膜主要有两种晶型,即a相和p相,其中a 抽真空使溶液和硅片之问的气泡逸出,并进一步消除 相晶体不具有压电性,但PVDF薄膜经过滚压、拉伸 后,薄膜中原来的a相晶体会变成8相晶体结构,增加 了p相的成分比例。由于现实的薄膜由非晶区和微晶

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