多层高反膜的理论设计与光学特性研究.pdfVIP

CHNOL00Y INFORMAT10N 科 技 教 育 多层高反膜的理论设计与光学特性研究 王 珊 (上海工程技术大学基础教学学院 上海 200336) 摘 要：利用软件 EssentialMacloed对光学多层介质反射膜作了理论设计：用packing density的概念模拟了多孔薄膜，实现了材料折射率 的可调节；通过计算分析 了非四分之一波长膜系的光学特性，得出倍频反射带反射率随高折射率膜层厚度变化的关系，该结果对于特殊膜 系的设计具有一定的理论指导意义。 关键词：堆积密度 溶胶 一凝胶 多层介质反射膜 中图分类号 ：043 文献标识码 ：A 文章编号：l672--3791(2oo8)11(b)一0148--01 反射膜在光学薄膜 中有着重要 的地 传 统的四分之一波长 的反射膜系，高折射 Rmax不是连续分布 ，而被平分为三段 ，每 位 。对于光学仪器的反射 镜来说 ，单层金 率膜层 (H)与低折射率膜层 (L)的光学厚度 一段的Rmax的数值会随dZ的增大而先增 属膜的特性 已能满足 常用 的要 求 ，但随着 相等均为四分之一入射光的中心波长 ， 大会减小 ，与基频反射带 的分布相似 ；而在 激 光应 用的 日趋广泛 ，一 些光学仪器上 的 一 个膜系周期 H+L其 光学厚度之和 为二 五倍频处 ，反射峰 的Rmax也为不连续分 反射膜 ，如高性能的多束干涉仪中的反射 分之一入射光的中心波长 。另一是非四分 布 ，平分为五段 ，每一小段的分布均与基频 膜以及激光谐振腔的反射镜等 ，要求反射 之一波长膜厚 的反射膜系 ，即在 四分之一 反射带 的分布相似。 膜具有更高的反射率和更小的吸收损失 ， 波长的反射膜系的基础上 ，变化高折射率 ‘ 从 中可以看 出，在偶数倍频时 ，dZ变化 多层介质反射膜较单层金属膜而言 ，体现 材料膜层的厚度偏离四分之一入射光的中 对反射带 Rmax的影响基本与奇数倍频相 出更好 的光学特性 。而在高能量高功率激 心波长 ，同时保持一个膜系周期 H+L其 同，不 同的是反射带 Rmax随 dZ变化被分 光应用 中，薄膜 的激光损伤闽值成为人们 光学厚度之和为二分之一入射光的中心波 为偶数段，两段和四段 ，每段内的 Rmax的 关注的问题 ，其与膜层的实际结构和膜 层 长九。 数值变化趋势与奇数倍频时相 同。 的沉积条件等众多因素有着敏感和复杂的 取以SiC，为低折射率材料 (p=0．45)， 比较上述 的基频 ，奇数倍频 ，偶数倍频 关 系，但总的来说 用化学方法制备 的介质 表示为S，ZrO，为高折射率材料 (p=0．68)， 的反射带的Rmax与dZ 的关系，不难发现 ， 膜比用物理方法镀制的介质膜有着更高的 表示为 z，入射波的中心波长为 l064nm。 n倍频反射带 的反射峰 Rmax曲线会随着 激光损伤闽值 ，因此 ，溶胶一凝胶法制备多 不考虑膜层之间的渗透 ，用膜系设计软件 dZ值的变化被分为均等的n段 。经过大量 层介质高反膜在强激光领域有着很好的应 EssentialMacloed，以膜系G(sz)十10A为理 的计算 ，发现当dZ的数值偏离0．25时，并 用前景 。 想膜系 ，计算非四分之一波长膜厚的反射 不一定会同时出现奇数倍频和偶数倍频 膜系中高折射率膜层的光学厚度对薄膜反 全部反射带 。 1镀膜材料的理论模拟 射带分布的影响 。 可发现上表关于 dZ=0．25对称，dZ一 用 溶胶 凝 胶的方法 制备镀膜材料 ， 2．1高折射率膜层的光学厚度dZ变化与基 0．25时会 出现基频 ，三倍频和五倍频三个 再椭偏 仪测量其折射率 ，与软件数据库 中 频反射 带的关系