用碘酒与氢氟酸钝化单晶硅的比较.pdfVIP

。36。第十届中国太阳能光伏会议论文集 1 用碘酒和氢氟酸钝化单晶硅的比较 孙秀菊1’2，任丙彦1，周春兰2，李海玲2，赵雷2，王文静2 (1．河北工业大学。天津，300130；2．中国科学院电工研究所，北京，100083；) 摘 要 研究硅体太阳电池时。如何方便准确地获得最大有效少子寿命是一个值得研究的问题，本文报道了用不同浓 度的碘酒溶液和不同体积比的氢氟酸(HF)溶液来钝化单晶硅表面的不饱和悬挂键，从而使有效少子寿命 远差于HF钝化的稳定性。 关键词 有效寿命；表面钝化；碘酒；氢氟酸 1．引 言 晶体硅的体少子寿命对于晶体硅太阳电池的性能具有较大的影响，为了准确地测试体少子寿命值，必须对 晶体硅表面进行钝化，减少表面复合的影响。因为只有表面悬挂键完全被饱和掉才能用“一PcD测量法得到的 有效少子寿命来表征体少子寿命，减少硅表面的载流子复合对提高有效寿命和提高电池效率来说是一项重要工 膜和PECVD沉积SiN薄膜法，但是这些方法都经过高温过程并且硅片在管道内很容易被污染【3J，且生长周期 倍受青睐。 理论上， 1 1 ．2．5r (1) 一==一．．-一 珞 ％。肫W 其中，S是表面复合速率，W是所用硅片的厚度。体寿命z如。由如下公式计算 (1 上=士+上+上 (2)2 彳bl‘lk tm蠡atire 一=一+一+—一t^ugert画电国ct 本实验中对某种浓度的溶液采用了相同的硅片，故可认为w和仉。lk是相同的，所以17eft和S成反比关系， 即left越大s越小。 2．实 验 清洗： Ⅲ号液： H202：浓H2S04=l：4 晶体硅太阳电池及材料．37． 10％HF漂一下氧化层 I号液： 去离子水：H202：NH3．H20=5：1：1 Ⅱ号液： 去离子水：H202：HCI=5：1：l 10％HF漂一下氧化层，之后将样品吹干放人红外氮气腔内烘干。 半小时和一小时后再次测其[eft。 3．结果和讨论 发现0．02 m01．dm．3到0．2m01．dm．3的碘酒溶液有较好的钝化效果。表1是不同溶液的钝化情况： 表1．用不同溶液钝化硅片得到的kff in Table1 1rI百e行determinedvarioussolutions [eft(邮) 溶液 初始值 30min 60min O．Ol 67．44 61．82 45．32 碘酒溶液(m01．dm．3) 0．02 185．43 170．85 119．27 0．08 327．99 227．44 209．48 0．2 164．77 56．54 42．49 0．5 150．59 19．78 13．96 1t3 45．22 41．26 41．16 HF(40％