碳纳米管阴极电离规数值模拟研究.pdfVIP

中国真空学会质谱分析和检漏专业委员会第十七届年会 中国计量测试学会真空计量专业委员会第十二届年会 碳纳米管阴极电离规的数值模拟研究 李得天 董长昆 成永军 肖玉华 张虎忠 （兰州空间技术物理研究所，兰州730000 ） （温州大学微纳结构与光电器件研究所，温州325000 ） 摘要：本文基于 IE514 分离规结构，建立了碳纳米管阴极电离规物理模型，根据电离规标准方 程，利用离子光学模拟软件SIMION 8.0 分别研究了电极电压对灵敏度和 Igrid/Ie 的影响。结果表 明，随着阳极/门极电压比值增大(Vgrid/Vgate)，Igrid/Ie 也将增大，然而，当阳极电压增大时， 会导致灵敏度降低，进而影响真空测量下限的延伸，该模拟结果与相关文献报道的实验结果符合性 很好。此研究中新型CNT 阴极的应用为解决极高真空测量难题提供了重要途径。 关键词：碳纳米管阴极 电离规 灵敏度 数值模拟 Abstract: In this paper, based on the structure of IE514 extractor gauge, the model of carbon nanotube ionization gauge is built by ion optic simulation software SIMION 8.0. And the influence of electrode potential on the sensitivity and Igrid/Ie is discussed. Results show that with increasing ratio between anode voltage and gate voltage ( V / V ), I /I increases, grid gate grid e while the sensitivity of the gauge decreases with the increase in anode voltage, which would further affect the extension of vacuum measurement lower limit. Moreover, the simulation results are in good agreement with the experimental data reported. The application of carbon nanotube cathode in the ionization gauge could provide an effective method to resolve the problem of extreme high vacuum measurement. Key Word: Carbon nanotube cathode, Ionization gauge, Sensitivity, Numerical simulation 1．前言 随着航天技术应用对极高真空测量提出更高的要求，各种新材料、新原理逐渐受到国内外学者 的广泛关注，尤其是近年来新型场发射―冷‖阴极的在真空测量中的应用研究非常多[1-3] 。近十年来， 许多学者先后将 CNT 阴极应用到不同类型的电离规中，开展了相关的研究工作[4-14]。Dong 和 Myneni[4-5]将 CNT 阴极应用于分离规中，实验研究了阳极电压和门极电压对电子透过率以及阳极电 -1 -8 [6] 流的影响，测得该电离规灵敏度为 0.03Pa ，真空测量下限为 10 Pa ；Sheng 等 将 CNT 阴极应用于