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- 2017-08-10 发布于安徽
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电子测量与仪器学报 2008年增刊
激光聚集方法在纳米计量领域的应用
谢初南傅云霞李源
(上海市计最测试技术研究院201203)
摘要：本文主要描述激光聚焦方法在纳米计最领域的应用。利用该方法在纳米测量机平台上对各种标准台阶进行测最验证，
供的标准值比对后得出所有En比对值均低0．5，从而证实该方法对台阶测量是非常有效的。
关键词：激光聚焦方法：纳米测昔机；纳米计量，
中图分类号l TB92 文献标识码z A
ofLaserFocustothefieldofNano
Application Metrology
XieChunanFuYunxiaLiYuan
Institution
ofMeasurementand 2
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