基于MC算法的MEMS光刻仿真的三维重建方法研究.pdfVIP

第25卷第 11期 计算机应用与软件 Vo1．25No．1l 2008年 11月 ComputerApplieationsandSoftware N0v．2o08 基于MC算法的MEMS光刻仿真的三维重建方法研究 王晓东 范明聪 沈连婶 (中国科学技术大学精密机械与精密仪器系 安徽 合肥 230027) 摘 要 以MC(MarchingCubes)算法为基础，提出了一种补全重建后生成的三维形体表面出现空洞的方法，使用该方法进行三 维重建生成的三维形体具有完整的外表面和 良好的可视化效果。提出了一种三维重建时对多个形体进行布尔运算的新方法，该方 法以MC算法为基础，将三维重建和布尔运算相结合，可以简单、方便、高效地进行三维重建时的布尔运算。 关键词 Marchingcubes 三维重建 等值面 空洞补全 布尔运算 3D RECONSTRUCTION IN MEMSLITHoGRAPHY SIMULATION BASED ON MC ALGoIUTHM WangXiaodong FanMingeong ShenLianguan (DepartmentofPrecisionMachineryandPrecsiionInstrumentation，UniversityofSconceandTechnologyofChina，Hefei230027，Anhui，China) Abstract BasedonMC(MarchingCubes)algorithm，amethodforcappingholesgeneratedby3Dreconstructionintheobjectsurfacesis presented．Theobjectgeneratedbythismethodhascompleteoutersurfacesandgoodvisualeffects．BasedonMCalgorithm，andwiththecorn— binationof3DreconstructionandBooleanoperation，anewmethodofrBooleanoperationsbetweenseveralobjectsin3Dreconsturctionispre— sented．Th emethodissimple，convenient，andefficient． Keywords Marchingcubes 3Dreconsturction Isosurfaee Holescapping Booleanoperation 迄今为止应用最广的面重建算法之一_3J。在 MC算法中，假 0 引 言 定原始数据是离散 的均匀三维数据点云，数学上可以表示为 一 个三维数据矩阵A(f×m×n)。我们将每相邻上下两层的4 自20世纪90年代以来，综合了计算机图像处理与分析、真 个对应数据点(共8个数据点)所组成的立方体看作一个体 实感计算机图形学、虚拟现实等技术的三维重建和可视化技术 素，利用8个数据点的数值和等值面值的关系，判断这个立方 一 直是国内外研究与应用的热点。三维重建通过处理二维图像 体是否与等值面相交。如果相交则采用线性插值的方法计算 序列或者三维数据点云，生成三维形体，使重建后的三维形体能 出等值面与立方体边的交点，根据立方体每一顶点与等值面 真实地再现物体的表面轮廓，改善可视化的质量 ‘。 我们开发的MEMS微电子机械系统 (MicroElectromecha