不同摩擦副在MoS2%2fTi复合薄膜上的跑和过程与真空环境下摩擦分析.pdfVIP

不同摩擦副在 MoS2/Ti 复合薄膜上的跑和过程 与真空环境下摩擦分析 1,2 1 1 1* 李浩 ，张广安 ，关晓艳 ，王立平 1 中科院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室，兰州 730000； 2 中国科学院大学，北京 100049 *通讯作者: lpwang@licp.cas.cn 摘要：一直以来，MoS 以其优异的真空摩擦性能而广泛用于航空航天领域，但是在本实验中，我们发现掺 2 杂一定量Ti的 MoS 在常压和氮气环境下表现出非常好的摩擦学性能，但是在真空环境下却非常容易失效！ 2 由于薄膜的摩擦与磨损不仅受到薄膜的自身性质的约束，还与摩擦副的性质有关；所以本文通过研究不同 对偶与MoS /Ti复合薄膜在真空下的摩擦，找出真空下可能的失效机制。本文通过磁控溅射制备MoS /Ti 复 2 2 合薄膜，然后用CSM摩擦磨损试验机，大载荷高真空沙尘摩擦磨损试验机研究不同摩擦副在MoS /Ti复合 2 薄膜上的摩擦学行为；通过Ti950纳米压痕仪测薄膜的硬度；通过扫描电镜对薄膜的表面和断面形貌分析； 通过XRD对MoS /Ti复合薄膜的结构进行分析；通过光学显微镜对摩擦副磨痕形貌进行研究。实验表明， 2 当MoS /Ti复合薄膜很容易转移到摩擦副表面，薄膜真空下则很容易失效。 2 关键词：摩擦副，MoS /Ti复合薄膜，真空摩擦 2 1.前言 二硫化钼为层状结构，每一层内部存在非常强的共价键，而层间则为弱的范德华力这使得二硫化钼 很容易在层间产生滑动，所以其具有非常好的润滑性能[1]. 但是MoS2 在潮湿空气中很容易因氧化而失效， 导致摩擦系数升高,使用寿命降低[2, 3]，所以MoS2 更多的是应用于真空或惰性气氛中。有学者发现，可以 通过掺杂其它元素来提高 MoS2 的润滑性能[4]，常见的掺杂有 Pb[5, 6], Au[7-9], Ni[9], Cr[10]和 Ti[11-13]等；D.G. Teer等[14]对掺杂Ti的 MoS 进行了深入的研究，并使其工业化，使得MoS /Ti复合薄 2 2 膜得到广泛的应用；有关学者也对 MoS2/Ti 复合薄膜在真空下的摩擦学行为进行了相应的研究，G. Colas 等[15]发现在真空环境下MoS2/Ti复合薄膜非常迅速失效，他认为Ti的加入产生大的颗粒，而这些颗粒因 为体积较大无法进入接触区，因而被排出；若是如此，那么对偶的影响将微乎其微，这与我们的实现现象 出入很大，这一理论无法很好地解释 MoS2/Ti 复合薄膜在真空下的失效机制。本文主要通过不同摩擦副与 薄膜真空摩擦研究MoS2/Ti复合薄膜真空失效机制。 2. 实验部分 2.1 实验方法及内容 MoS2/Ti复合薄膜通过磁控溅射方法制备，过渡层为Ti，基底为30mm×30mm×3mm钢片，膜厚约1.1um。 薄膜的表面及断面照片通过场发射电镜（FESEM, JSM-6701F）获得，通过 XRD（Philips X’perts X-ray diffractometer）测定薄膜的结构。通过光学显微镜观察对偶摩擦表面形貌。采用WTi950纳米压痕仪测定 MoS2/Ti复合