气体质量流量自动控制器性能研究.pdfVIP

第29卷第4期增刊 仪 器 仪 表 学 报 VU．29No．4 Joumal 2008年4月 Chinese ofScientificInstrument Apr．2008 气体质量流量自动控制器性能研究 向蔡生何振江胡仁义 ． (华南师范大学物理与电信工程学院广州510006) 摘要 针对气体质量流量自动控制器控制精密小流量在环测仪器中的应用越米越多，且目前对这种器件的研究较少的情 况，本文详细介绍了DSN型气体质量流量控制器和DSN一2000气体质最积算仪的原理和系统构成，并对其性能进行了评测试 验。结果表明国产的气体质量流最自动控制器精度高、稳定性好、流量控制范围宽、响应速度快，研究表明流星控制的稳定 性随控制流量的增大而降低，流量控制的精度随控制流量的增大而升高。因此在设定控制流量大小时须从流晕控制的稳定性 和精度两方面综合考虑，使流量控制的效果达到最佳。 关键词 流量控制性能测评比例采样 onPerformanceoftheMassFlowautomaticController Study He Hu CaishengZhenjiangRenyi Xiang ChinaNormal 51 (SchoolofPhysics＆Telecom University,Guangzhou0006) Engineering,South AbstractThe and ofDSN flowcontrollerandDSN一2000massflow are principlesystem type’s displayamply introducedinthis their aremeasuredandevaluated。forthemassflowautomaticcontroller performance paper’and ismoreandmoreusedtocontrolthe littleflowi11theenvironmentaImonitorbutfew onthedevice precise study at resultsshowthatthemassflowcontrollermadeinour have present．The countryhighprecision．goodstability, wide offlow showsthattheflowcontrol’S fallandits range contr01．rapidresponsibility．Thestudy stability risewith thecontrolflow．Theflowcontrol’S andflow controI’S should precision increasing stability precision be consideredwhen flow’S control value．inordertomaketheb