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原子力显微镜校准技术的研究 高思田邵宏伟王春艳叶孝佑徐毅 (中国计量科学研究院．北京100013) 摘蔓：奉支研完了一台^有中牛测■苊田，并加装了由三台截型激光干涉仪组成的 三肇捌量‘麓曲计量型碌子力量截麓曲扫彗器按堆．是出了簟参鼓接堆和三肇技堆两种 方法．所设计的千涉仪的布局特别适合于计量特性的研究‘如一十穆葡轴在其它两个坐 标方向所产生的耦合位移)及曩子力亚徽锍的校堆．由于x J}l，y向干涉仅的测量面与琢 子力曼t麓的x1潮量面不共面．当测量台发生转动时所造成的很大的阿见诿差．遗过 用一两簟白堆直光警对测量台的转角进行舅t对北进行了研兜分析．所做的校准是对薹 十测量空同进行的，而不是仅仅对莱根轴蠛而吉的．并在愿予力里截境曲疆动控蝌程序 中加入用校准站秉所产生的校堆数据．使舟犀子力里徽镜的穆动蹙簪在一个相当接近于 正变和辱重的三堆测量空间进行． 引言 原子力显徽镜(AFM)是具有亚纳米级空间分辨率能够对被测表面及近表面区域的 物理特性在原子量缓的水平上进行检测的一种仪器。随着纳米计量技术的发展，原子力 显徽镜正作为一种计量仪器进入工业测量领域．用于微电子工业中膜厚、线宽、线间隔、 特征尺寸以及表面粗糙度的测量。我们认为．纳米计量仪器应具有这样的特性：1)具 有量值溯源性；对于几值量让量这意味着应溯源到光波渡长；2)由计量仪器建立的参 4)通 考坐标系：3)产生可重复的相对于参考坐标系的运动并能由计量仪器对其测量j ．过测针将被测物与参考坐标系联系起来。因此目前无论是纳米技术的研究还是生产都需 要迫切的解决纳米的绝对测量和纳米测量仪器的计量校准．我们在国家自然科学基金委 员会的支持下’i瞳过与德田物理技术研究院的台作‘，完成了计量型原子力显徽镜的研制． 为纳米的绝对测量和纳米测量值的计量校准提供了科学依据。 ’Mmit自端科学基生童助璜目和蕾田无售量助项目 50· 2扫描器校准方案的分析比较 扫描嚣是原子力显微镜的最重要的组成部分．用于实现涮针与被测表面间的三维相 对移动．仪器的基本计量特性如铡量不确定度、测量分辨率、测量重复性和量值溯源性 等主要取决于扫描器的计量特性． 由于三维压电陶瓷筒X、Y的位移不是在一个平面上进行的而是一个球面．虽然可 以对其进行修正，但由于被测样板的高度变化和测针的长度变化所引起的测量误差也是 巨大的，对于39．5mm长的压电陶瓷筒若其测量范围为401．1日，则0．1mm的样板高度 nml 变化或涮针的长度变化所导致的测量位置误差为203 1此外在这种压电陶瓷筒上也 难以采取有效的措施对x、Y、z方向的位移进行测量控制．以消除压电陶瓷所固有的 菲线性、沸后、爬行等影响。虽然有人进行过这方面的研究，但离计量仪器的要求还相 差甚远：，因此我们认为在计量型原子力显微境中不宜采用这种结构．而应当采用柔性 铰链构成的徽位移台． 一般擞位移台的驱动元件均为压电陶瓷．众所周知，压电陶瓷驱动嚣虽然位移分辨 率很高。但却具有饭大的非线性、滞后、爬行等严重影响浏量精度的缺点。因此必须要 对位蓼台的移动进行涌量、控制和校准．目前在SPM中常用的涮量系境主要有电容传 感器和激光干涉测量系统。 电容测徽仪具有结构简单、分辨率高、体积小、容易安装、且可与机械徽位移机构 或压电一瓷做成一体等优点，因此特别适台在扫描探针昱徽镜中应用．由于体积小，往往 可以在扫描嚣中安装多个电容抟感嚣胃合压电膏瓷驱动嚣对扫描嚣的各种位置误差进行控 制，如各轴闻的耦台、各方向的转动等．倒如在中田计量科学研究院与募田物理技术研究 院合作研制的兼容型扫描搽针显徽镜的x-y扫描台中，应用了六个压电陶瓷和六个电容传 感器对扫描台进行控制．使x、Y方向的运动完全独立