脉冲激光沉积制备铁电薄膜材料研究进展.pdfVIP

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2017-08-09 发布于北京
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符春林等 :脉冲激光沉积制备铁电薄膜材料研究进展　　 ( ) 5 　　《激光杂志》2008 年第 29 卷第 4 期　　　　LASER J OURNAL Vol .2 9. No . 4 . 2008 脉冲激光沉积制备铁电薄膜材料研究进展 1 ,2 2 1 1 符春林 ,潘复生 ,蔡　苇 ,邓小玲 1. 重庆科技学院冶金与材料工程学院 ,重庆　401331 ; 2. 重庆大学材料科学与工程学院 ,重庆　400044 提要 :铁电薄膜是一类重要的功能材料 ,是近年来高新技术研究的前沿和热点之一。脉冲激光沉积 ( PLD) 是制备铁电薄膜的一种重要方法。综述了脉冲激光沉积制备铁电薄膜的历史、工艺参数、特点和采用此方法制备出的某些材料的铁电性能。关键词 : 薄膜 ; 脉冲激光沉积 ; 铁电; 制备中图分类号 :TB34 , O484 　　　　文献标识码 :A 　　　　文章编号 :0253 - 2743( 2008)04 - 0005 - 02 La test pr ogr ess on pr epar at on of ferr oelectr c t h n f lms by pulsed la ser depos t on 1 ,2 2 1 1 FU Chun - l n , PAN Fu - sheng ,CA I We ,DEN G X ao - l ng 1. School of Metallurg cal and Mater als Eng neer ng , Chongq ng Un ver s ty of Sc ence and Technology ,Chongq ng 40133 1 ,Ch na ; 2. School of Mater als Sc ence and Eng neer ng ,Chongq ng Un ver s t y , Chongq ng 400044 , Ch na Abstr act :Ferroelectr c f lms , as an mportant funct onal mater al , ha s become an extens vely st ud ed subj ect of much ba s c and technolog cal ntere st . Pulsed laser depos t on s an mportant method for pr eparat on of ferroelectr c f lms. Not only t he h story , technology par ameters and pecul ar t es but al so ferroelectr c propert e s of some mater al s by pulsed la ser depos t on are r ev ewed. Key wor ds :f lm ;pul sed laser depos t on ; ferroelectr c ; pr eparat on 　　本文将综述脉冲激光沉积法制备铁电薄膜的历史、工艺