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纳米SiO2抛光液的制备及其在蓝宝石CMP中的应用
张泽芳1,2 刘卫丽1,2 宋志棠1,2
1.中国科学院上海微系统与信息技术研究所，信息功能材料国家重点实验室，纳米技术研究室，上海，
200050 2.上海新安纳电子科技有限公司，上海，201506
摘要：本文制备了一种纳米氧化硅抛光液，采用扫描电镜、激光粒度仪、大颗粒计数仪对其进行了表
征。进而研究了其在蓝宝石表面的抛光性能，采用FRT、Candela、原子力显微镜等对抛光后的表面进行了
表征。结果表明制备的纳米氧化硅抛光液在LED蓝宝石衬底表面具有优异的抛光性能，达到了无划伤、无
腐蚀坑，且粗糙度小于0.2nm的光滑表面。
关键词：蓝宝石；氧化硅;抛光；LED;抛光液
J，7
．化硅颗粒白
lJj^，J1
牝液勒
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主石单晶
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