溶胶-凝胶技术在玻璃镀膜应用.pdfVIP

第37卷增F町 光子学报 V01．37 Sup．I 2008年11月 ACTAPHOTONICASrNICA November2008 溶胶．凝胶技术在玻璃镀膜中的应用木 沈军，王晓栋，王生钊，朱玉梅，刘源 (同济大学波耳固体物理研究所卜海市特殊人工微结构材料与技术重点实验室，上海200092) v205等多种氧化物薄膜的制备及其应用．在溶胶．凝胶基础上，采用提拉浸镀法制备了三种不同类 型的Si02减反射光学薄膜．比较了3种减反射薄膜的光谱性能，并通过观察薄膜的表面形貌及机械 强度测试分析了薄膜的力学性能．结果表明，镀制了双层薄膜的玻璃性能最为出色。兼顾了减反射 性能与薄膜的机械强度，具有很好的应用潜力． 关键词：薄膜物理学；溶胶一凝胶；减反膜；机械强度 中图分类号：0484 文献标识码：A 0引言 电学、热学等许多领域得到了广泛的应用． 玻璃作为一种非晶态材料，以其透明、高可见 1 溶胶一凝胶镀膜工艺 光透过率、高硬度、耐磨、重量轻等优异性能被广 将溶胶均匀地涂覆在基底上，使溶胶中的水解、 泛应用于科研、生产、生活中．有学者预言在未来很 缩聚反应继续进行，随着溶剂的挥发最终形成干燥 长的一个时期还不可能有新的更好的材料取代它． 的凝胶薄膜的过程，称为S01．Gel法镀膜． 但是玻璃也存在隔热、隔声性能差、脆性、抗冲击 利用S01．Gel法制备薄膜是新发展起来的镀膜方 强度低等缺陷，满足不了某些高功能的要求。影响其 法，由于它本身具有许多优越性，故近年来成为人 在各个领域的使用． 们探索镀膜方法上的新热点． 20世纪80年代以来，平板玻璃已有一半以上不 传统的物理镀膜法主要是通过物理手段，如热 是作为成品直接使用，而是作为半成品，进行表面 蒸发、溅射、电子束轰击等，使无机材料沉积在衬 处理，赋予功能性或装饰性之后，才投入使用111．玻 底上，形成薄膜．传统物理镀膜在现实生活有着广泛 璃表面处理技术是赋予玻璃表面各种特性的一项新 的应用，现今大部分的工业化镀膜都是采用该方法． 兴技术，可分为表面加工、表面改性和表面镀膜三 但物理镀膜法却存在着许多长久以来困扰人们的缺 大类【21．而表面镀膜由于具有不改变玻璃的组分、对 点，如设备复杂、对基底有一定的要求、镀膜环境 玻璃无损伤、赋予玻璃更多的功能性等优点，而成 通常在高温下、镀膜成本高等． 为国内外研究的热点． 利用溶胶．凝胶法制备薄膜就很好地解决了上述 玻璃表面镀膜是在玻璃表面涂镀一层或多层金 问题．与传统物理法镀膜相比较．S01．Gel法镀膜有 属、合金或金属化合物薄