大面积光刻胶线棒涂布工艺研究.pdfVIP

华南师范大学学报 (自然科学版) 2015，47(2)：84—89 JournalofSouthChinaNorma1．University(NaturalScienceEdition) doi：10．6054／j．jSC[IUII．2014．12．015 大面积光刻胶线棒涂布工艺研究 韦必明，金名亮，吴 昊，窦盈莹，周国富，水玲玲 (华南师范大学华南先进光电子研究院，彩色动态电子纸显示技术研究所，广州 510006) 摘要：介绍了一种在大面积基材上涂布高粘度光刻胶的线棒涂布法．主要针对涂膜厚度与均匀性进行研究，结果表 明，膜厚随着光刻胶粘度和涂布棒尺寸的增大而变厚，涂布速度在某一范围内对膜厚无影响．线棒涂布机设备中所 加垫板的硬度直接影响涂膜的均匀性，硬度小的垫板可获得更均匀的涂膜，而垫板高度在某一范围内对膜厚无影 响．与常用旋涂法相比，线棒涂布法具有操作简单、节省材料和可大面积涂布等优点． 关键词：线棒涂布法；大面积涂布；高粘度；光刻胶；涂布工艺 中图分类号：TQ586．3 文献标志