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第14卷专辑3 中国有色金一学报 2004年10月
Vol·14S3 TheChinese
JournalofNonferrous
文章编号：1004—0609(2004)S3—0268—04
光子晶体的可控垂直沉积④
陈福义，介万奇
(西北工业大学凝固技术国家重点实验室，西安710072)
摘 要：使用等温蒸发工艺开发了光子晶体的可控垂直沉积(cvD)技术，初步探索了光子晶体的结晶机制。使
用可控垂直沉积技术将294nm和345
nm的PMMA微球组生长成光子晶体。试样的扫描电镜研究结果表明，晶
体结构微球排列有序度高，完美有序区范围在20
pm以上，晶体表面层平整完美，在3弘m×5肛m的有序区内仅有
2个点缺陷。
关键词：PMMA；光子晶体；可控垂直沉积
Controllablevertical of
depositionphotonic
crystals
CHEN IE
Fu—yi，JWan—qi
(State ofSolidification
KeyLaboratory Processing，NorthwesternPolytechnicUnivers．ity，
Xi’an710072，China)
Abstract：Ⅱ～VI are materialsinthenationaldefense onthe
groupphotoniccrystalimportoptic industry．Based
well—establishedvertical methodandisothermal inthe
deposition evaporation
processingcrystalgrowthtechnology，
themethodand forthecontrollablevertical
principle was to the
depositiontechnologydevelopedpreparephotonic
isindicatedfromtheSEMobservationofthe thatthebulkstructureofthe
crystal．It sample crystalpossessescrys—
talline witha and order，theorderzoneisabove20 andthesurfaceofthe
array highperiodicallongrange perfect vtm
is andevenandhas tWOvacanciesinthe3 order
crystalcomplete only pm×5弘m zone．
Keywords：PMMA；photoniccrystals；verticaldeposition
Ⅱ～Ⅵ族化合物光子晶体是光发射和光控制一
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