亚波长介质偏振分束光栅的衍射特性.pdfVIP

第 2O卷第 1O期 强 激 光 与 粒 子 束 Vo1．20，NO．10 2008年 1O月 HIGH P0W ER LASER AND PARTICIE BEAM S Oct．，2008 文章编号 ： 1001—4322(2008)10～1629—04 亚波长介质偏振分束光栅的衍射特性 赵华君 (重庆文理学院 电子 电气工程学院，重庆 402160) 摘 要 ： 采用严格耦合波理论并结合矩阵 LU分解法 ，分析 了亚波长介质光栅 的刻槽深度 、占空 比、入射 角 、入射波长等参数对 TE偏振和 TM偏振 0级衍射效率 的影响 。结果表明：在 1550nm波长处 ，出现瑞利反 常现象。由此提 出利用瑞利反常现象设计工作波长为 1550nm的偏振分束光栅 ，通过优化设计确定了最佳设 计参数 ，即光栅周期为 ／2，瑞利入射角为 3O。，刻槽深为0．9；t。，占空 比为0．5。结果表 明，参数优化后的偏振 分柬光栅可以使 TE偏振0级反射波和 TM偏振 0级透射波同时达到近 100 的衍射效率 。 关键词 ： 二元光学； 亚波长介质光栅 ； 衍射特性 ； 严格耦合波理论 ； 偏振分束器 ； 瑞利反常 中图分类号 ： 0436．3； 0636．1 文献标志码 ： A 偏振光分束器是光开关网络 、光存储器 、光环形器、光隔离器等光学组件中的核心器件 ，在光纤通信 、光学 计算、图像处理等领域有着广泛的应用 。]。传统的偏振光分束器通常由双折射晶体或多层介质膜等具有二向 色性的物质构成 ，这些器件通常体积大、效率低，无法满足光学系统小型化 、集成化和高效化的要求 。近年来 ， 随着电磁理论和微加工技术的深入发展，研究人员逐渐发现亚波长光栅 (人射波长小于光栅周期)具有优 良的 偏振衍射特性n ]，可以实现偏振 、分束、增透、高反、窄带滤波等功能，且具有体积小 、效率高、易集成等优点 ，受 到人们的广泛关注。 分析亚波长光栅的衍射 问题必须采用严格矢量衍射理论 ，常用 的严格矢量理论主要有积分法 j、微分 法 ]、模式法 和耦合波法 (RCWA)[911]等。耦合波法也称严格矢量耦合波理论 ，由M．G．Moharam于 1981 年提出 ]，目前已广泛应用于分析光栅的衍射 问题。本文采用严格耦合波法 ，研究了亚波长介质光栅分别对 TE偏振 (电矢量平行于光栅刻槽)和TM偏振 (电矢量垂直于光栅刻槽)的衍射特性 ，并针对通信系统中广泛 使用的1550nm波长设计亚波长偏振分束光栅，分析了光栅刻槽深度、占空比(光栅脊宽度与光栅周期的比)、 入射角 、入射波长等参数对衍射效率的影响，得出了最佳光栅设计参数。 l 理论分析 本文采用的亚波长介质偏振分束光栅 ，结构模型如图 1所 — d ：+一 示。设平面波以入射角 0入射 ，并 由光栅衍射产生各级反射波 和透射波，其中d为光栅刻槽深度。入射 区(区域 I)和透射区 (区域UI)的折射率分别为 和 ，光栅区(区域 II)包含了光栅 ／ ci 脊和光栅槽两种介质的周期分布 ，其折射率分别为 ， 。入射 ／ 。 区和透射区的电场分布由Rayleigh展开式可得 ，光栅区的电场 M 分布 由耦合波方程组给出~10II]。 对于TE偏振光，光栅反射 区与透射 区的各级衍射波的衍 射效率表示为 Fig·G。m Yforthe。ubwae1eng