分析半导体工艺设备中可编程逻辑器件.pdfVIP

第 30 卷 　第 3 期 微 　电 　子 　技 　术 总第 145 期 Vol. 30 No. 3 MICROEL ECTRON IC TECHNOLO GY 2002 年 6 月 产品与应用 分析半导体工艺设备中可编程逻辑器件 王国海 , 郭晶磊 , 顾爱军 (信息产业部电子第五十八研究所 , 无锡 　214035) 摘 　要 : 　本文介绍在半导体工艺设备中常见的可编程逻辑器件。以及分析电路板中的可编程逻 辑器件 , 写出已加密 GAL 器件的逻辑功能。 关键词 : 　可编程逻辑器件 ; 加密 ; 分析 ; 通用阵列逻辑器件 中图分类号: TN79 + 2 　文献标识码 : A 　文章编号 : 1008 - 0147 (2002) 03 - 47 - 04 Introduction to the Programmable Logic Device Used in Semiconductor Manufacturing Equipment WAN G Guohai , GUO Jinglei , GU Aijun ( ) W uxi Microelect ronics Institute , W uxi Jiangsu , 214035 , China Abstract : 　The programmable logic device ( PLD) IC , usually applied to semiconductor manufacturing e quipment , is introduced in the paper , and the analysis of PLD in PCB and the logical function of enerypted GAL are also given. Keywords : 　PLD ; Encrypt ; Analysis ; GAl 具有用户可重复定义逻辑功能 , 以及具有保密功 1 　概述 能 , 能直接取代逻辑电路 , 可代替各种标准逻辑功 能器件、微处理接口电路。设计灵活、为系统设计 半导体设备是集机械、电气、材料、光学为一 师提供更多的选择提高密度、高性能、低成本的方 体的高精度产品。厂家为了保护自己的成果 , 在电 法。节省空间 , 一块 PLD 电路可以替代多片逻辑 路控制部分一些专用集成电路到处可见。可编程逻 器件 , 使印制版布局更加紧奏。20 世纪 70 年代出 辑器件就是其中的一种。对于维修人员 , 分析、了 现了可编程逻辑阵列 PLA 器件 , 它由可编程的 解可编程逻辑器件是必不可少的。在这里将介绍可 “与”阵列与可编程的“或”阵列组成。后来又出 编程逻辑器件的功能、特性以及怎样分析设备中可 现了可编程陈列逻辑 PAL 器件 , 它由可编程的 编程逻辑器件在电路中的作用。