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生物秀实验频道——生命科学实验中心 /bio101 常用分析仪器知识 一、 绪 论 1. 与我们制程产品相关，所使用的相对复杂一些的仪器包括以下： 1）原子吸收分光光度仪（AAS ） 2 ）紫外-可见分光光度仪（UV-VIS ） 3 ）循环伏安分析仪（CVS ） 4 ）X 射线能量色散光谱仪（EDX ） 5 ）扫描电子显微镜（SEM ） 6 ）X 射线测厚仪（XRF 测厚） 2. 用仪器综述 1）按仪器的通常分类，AAS、XRF 测厚、EDX （其实也是属于XRF 的一种） 和UV 都是属于光谱仪；CVS 属于电化学仪器；SEM 属于电镜仪器。 2 ）SEM 通常可与XRF 测厚和EDX 联合使用，有些EDX 机器也同时兼具XRF 测厚功能，从相关 见的分析报告可同时看到样品的SEM 图和分析测量的 结果图表。 3 ）AAS 、UV、XRF 测厚、EDX 和CVS 都是使用分析比较技术，要求进入仪 器测试的标准样品和未知样品具有相似性和重现性，简而言之，样品测试前 需要作校正和样品处理。 二、 AAS 1. AAS 定量分析原理和仪器结构组成 1）分析原理：原子吸收的过程是当基态原子吸收某些特定波长的能量由基态 激发态。根据Lambert-Beer 定律，吸收值与浓度成正比关系，从标准溶液 作出校正曲线后，再读出未知溶液的浓度。原子吸收分光光度仪即是利用原 子化器将样品原子蒸气化后，吸收某一特定波长光，此光来自空心阴极灯管， 再经过光学系统分光经由单光器过滤仅有要测的波长光进入侦测器。 2 ）仪器组成：A.放射光源(空心阴极管或EDL 灯管) ；B.样品导入装置-简易雾 化器；C.火焰式原子化器；D.分光仪(Echell 分光系统) ；E.侦测器(固态半导 体) 2. 缺点 1）优点：A.可做多种金属元素的定量分析（约70 多个）. B.可用间接法测定非金属元素和有机化合物. 1 生物秀论坛——学术交流、资源共享、互助社区 /bbs 生物秀实验频道——生命科学实验中心 /bio101 C.热机时间较短 （约5 分钟） 2 ）缺点：A.一次只能分析一个元素，分析速度慢 B.每种元素需要更换专用的灯管 3. 基本功能和仪器用途 1）主要用于金属元素测定，可测定70 余种元素。利用间接法亦可测定非金属 元素和有机化合物. 2 ）制程产品需要用 AAS 的有：化银线银子、铜离子杂质离子的测定，PTH 线部分槽液杂质离子的测定等 三、 UV-VIS 1. UV-VIS 定量分析原理和仪器结构组成 1）分析原理：当特定强度的入射光束(Incident beam) 通过装有均匀待测物的 介质时，该光束将被部分吸收，未被吸收的光将透过(Emergent)待测物溶液 以及通过散射(Scattering)、反射(Reflection),包括在液面和容器表面的反射) 而损失，这种损失有时可达 10%，在样品测量时必须同时采用参比池和参 比溶