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薄膜热电偶动态特性标定技术研究现状.pdf
and Technologies) 2006年第25卷第10期
4 传感器与微系统(h蚰sducerMicrosystem
薄膜热电偶动态特性标定技术研究现状+
任玲，黄风良
(南京师范大学物理科学与技术学院，江苏南京21∞97)
摘要：薄膜热电偶由于其优异的性能，广泛地应用于众多领域。动态响应时间作为薄膜热电偶动态性
能指标的关键参数，得到研究人员的广泛关注。在总结国内外薄膜热电偶动态标定原理、特点及建立薄膜
热电偶动态数学模型方法的基础上，分析讨论了影响标定精度的因素，并论述动态标定技术中目前需要解
决的问题，对提出一种高精度的动态标定实验方案以及薄膜热电偶动态建模方法具有指导意义。
关键词：薄膜热电偶；动态标定方案；动态数学模型
中圈分类号：TP212．1 文献标识码：A 文章编号：1000—9787(2006)lO—o004—03
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