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表面改性离子注入技术的发展与应用.pdf

陈勇军等 金属表面改性 离子注入技术的发展与应用 !!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!! 金属表面改性 离子注入技术的发展与应用 陈勇军,史庆南,左孝青,王茗,吴新光 (昆明理工大学材料与冶金工程学院,云南 昆明!##$%) [摘要] 系统介绍了金属表面改性用离子注入的机理和特点。剖析了温度、注入剂量、离子种类等影响因子对改 性层效果的影响,综述了该技术在提高强度和硬度、改善磨损性能、降低摩擦系数等方面的用途,展示了离子注入技术 的开发方向和应用前景。 [关键词] 离子注入;金属表面改性;应用 [中图分类号] [文献标识码] [文章编号] ( ) ’(! ) (##( * %!!# +##% #! * ###, * #, !#$%’’() %* +,$*-.’ /$%#’$)0 %* 1’)-223. 1-)’$3-24 )5’ 6’’2%#’() -(7 8##23.-)3%( %* !%( !#2-()-)3%( , , , , !#$ %’(-) *’ +, -.’(-’/’ 012 3./-4.’( 56$7 8.’( 51 3.’-(*/’( ( , , , ) ./01234 56 7/389:/2; /= 783/22194 ?:889: @1A: B:C89;:34 56 D0:808 /= 80E5254 @1A: !##$% FE:/ [ ] 894)$-.) 780E/:;A /= 0E/9/0389:;3:0 56 :5 :AG2/3/3:5 1;: 659 :AG95C8A83 56 ;196/08 G95G893:8; 56 A83/22:0 A/389:/2; , , /98 =8;09:H8= ;4;38A/3:0/224 I )/35A4 88; ;10E /; 38AG89/3198 =5;/8 /= 3E8 J:= 56 :5 :6803:5 5 :AG95C8= 2/489 :3; /GG2:0/- 3:5; ;10E /; 8E/0: E/9=8;; /= ;3983E, , , :AG95C: K8/9 98;:;3/08 98=10: 69:03:5 A5=121; E/C8 H88 98C:8K8= ;5 /; 35 :- =:0/38 3E8 =:9803:5 56 =8C825GA83 /= K:=8 9/8 56 :3; 1;8 I [ ] ; ; :’0;%$74 L5 :AG2/3/3:5 LAG95C8A83 56 ;196/08 G95G8934 56 A83/22:0 A/389:/2; )GG2:0/3:5 [] # 引言 常用注入原子+ 有:碳、氮、氧、硼、氦、磷、铁、铝、锌、

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