YBCO高温超导薄膜的制备方法与应用.pdfVIP

FRONTIER 前 沿 YBCO高温超导薄膜的 制备方法及应用 ■ 文/王醒东    富通集团有限公司     浙江省光纤制备技术工程技术研究中心 20世纪80年代，临界转变温度在 沉积和以有机金属化合物气相沉积 光束聚焦并作用于靶材表面，使其表 液氮沸点温度之上的高温超导体的发 （MOCVD）为代表的化学气相沉积法 面熔蚀，并形成等离子体羽状物，这些 现掀起了一股新的研究热潮。现代电 （CVD）。其中，真空蒸发法包括电子束 等离子体羽状物向受热基底表面转 子器件，尤其是集成的电子器件基本 /激光束蒸发、反应蒸发法、分子束外延 移，最后形成薄膜。PLD法成膜过程可 以薄膜为基础，高温超导体的发现使 法（MBE）等；溅射法又可细分为直流、 分为3个阶段：①激光束与靶材相互 人们看到了其应用于电子器件的可能 射频和离子束溅射等[3-5]。在沉积制膜 作用；②等离子体