超导共面波导谐振腔稳频振荡器实验研究.pdfVIP

第 14卷 第 4期 固体 电子学研究与进展 Vo1．14 No．4 l994年 11月 RESEARCH ＆PROGRESSOFSSE NOV ， 1994 超导共面波导谐振腔稳频振荡器的 实验研究 ，，，／／』 ／王蕴仪 7 r (东南大学无线 电工程系 毫米波国家重点实验室，南京 210018) 毡 19年5月27日收到初稿，l994年6月24日收到修改稿 z#7r~ ‘ 提要 对共面波导谐振腔稳频振荡器进行 了实验研究。在对不加谐振腔的简单振荡器研究的 基础上 ，设计并制作了反馈型和传辅型谐振腔稳频振荡器 首先．稳频谐振腔分别用常规导体介质 基片和在 ZrO衬底上的金膜来实现 。然后 ，用LaAIO 介质衬底上的YBCO超导薄膜制作 的共面 波导稳频谐振腔嵌入振荡器电路 ．利 用其高品质因数取得较好的稳频效果 所有电路的有源器件 均采用 NE72084GaAsMESFET 关蕾词 磐曼 鞭 研窑 Experim entalInvestigationofCoplanarW aveguide OscillatorsStabilized bySuperc0nductingResonator JiangMingming，HanLiang，WangYunyi (DeptofRadioEngineering，SoutheastUniversity，Na ng·210018) Abstract：In thispaper，thecoplanarwaveguide oscillators are investigated． Firstly，tWOtypesofplanarcircuitFET oscillatorweredesignedandfabricatedwith conventlonalconductormateria1．ThenthesuDerc0nduct0rwasintroducedascopla． narwaveguideresonatorto stabilizetheoscillatorandtheconductoroftherestof theoscillatorcircuitiSmeta1．Theactivedevicesused in thecircuitareNE72084 GaAsM ESFETs． KeyW ords：CoplanarW aveguide，Oscillator，Superconductor，Resonaot r 1 引 言 振荡器是微波 电路中重要的单元 电路 。微波 电路的发展很大程度上取决于振荡源的水平 。 长期 以来，低噪声、高稳定度的振荡源一直是人们努力的 目标之一。为了提高振荡源的频率稳 定度，人们采用注入锁定法、外腔稳频法和锁相环等技术取得了较好的效果 ，代价是增加了附 加 电路。比如在外腔稳频中，常用介质腔和波导腔 ，而很少采用平面传输线谐振腔，原因是其Q 值太低，起不到稳频作用。随着高温超导材料的出现和发展 ，平面传输线谐振腔的Q值得到很 大提高 ，并且以其结构简单、尺寸小、重量轻的优点而重新受到重视。 在平面电路中，共面波导传输线电路具有接地方便，无需打孔，只需制作单面膜等特点。而 对于超导平面 电路 由于工艺的限制，制作双面膜十分困难，因而共面波导传输线受到青睬。国 ,308 固 体 电 子 学 研 究 与 进 展 H 卷 外已见全超导共面波导谐振腔稳频振荡器 电路的报道 。美国杜邦公司沈致远等研制了反馈 型镶嵌式谐振腔稳频振荡器0。共面波导传输线形式的振荡器，据作者所知国内尚未见报道 。 为完成国家超导 中心下达的任务，研制了普通金属的共面波导传输线谐振腔稳频振荡器和镶