掺N类金刚石薄膜的制备与微观结构分析.pdfVIP

工艺技术与材料 　　Process Technique and Materials doi : 103969/ j issn1003353x200908014 掺 N 类金刚石薄膜的制备及微观结构分析 杨兵初 , 陈海平 , 曾礼丽 , 赵峥 ( 中南大学 物理科学与技术学院 , 长沙 4 10083) ( ) 摘要 : 采用直流磁控溅射法 , 在光学玻璃衬底上沉积类金刚石 DLC 和掺 N 类金刚石薄膜 (DLC ∶N) 。用喇曼光谱 、X 射线光电子能谱 (XPS) 、傅里叶红外光谱 ( FTIR) 等研究分析了所制 备薄膜的微观结构 。喇曼光谱的结果表明 , 掺