大气压微等离子体射流电子密度研究.pdfVIP

第30卷，第7期 光谱学与光谱分析 0i and 2 0年7月 SpectroscopySpectralAnalysis July，2010 大气压微等离子体射流电子密度研究 李雪辰，赵 娜’，刘为远，刘志强 河北大学物理科学与技术学院，河北保定071002 摘要采用微空心阴极放电装置，利用光学方法和电学方法研究了大气压流动Ar和N2混合气体中产生 的微等离子体射流特性。研究发现，随着电源输入功率增大到一定数值，微空心阴极装置中两个电极间气体 发生击穿，通过击穿气隙气体的流动会沿着气流方向产生最大为4nlITl的等离子体射流。放电电流为准连续 的脉冲放电形式，其中放电电流脉冲宽度约为0．1弘s。分别利用爱因斯坦方程和等离子体发射光谱中谱线 的Stark展宽方法计算了电子密度。结果发现，2种计算方法得出的微等离子体射流的电子密度均在1015· CITI_3的量级。研究还发现，功率对微等离子体射流电子密度影响不大。利用气体击穿理论，对以上结论进行 了定性分析。 关键词微等离子体射流；发射光谱；电子密度；Stark展宽 中图分类号：5280P；0565文献标识码：A 心处通人流动心和Nz的混合气体来产生射流等离子体。利 引 言 用两种方法计算微空心阴极放电射流等离子体的电子密度， 同时对电子密度随功率的变化也进行了研究。 大气压非平衡态等离子体易趋于不稳定性尤其是拉弧 (从辉光放电到弧光放电过渡)。在空间上把等离子体的直径 1实验装置 限制在1rfllTl或更小对于大气压下辉光放电稳定性的产生和 维持是一个较好的方法[1]。这种空间特征尺寸限制在亚毫米 实验装置如图l所示，等离子体通过微空心阴极放电产 量级的等离子体称为微等离子体。微等离子体由于尺寸小， 生。微空心阴极放电装置结构有三明治结构。利用金属铝片 表面积与体积比大，带电粒子和激发态离子在表面区域的损 (厚度2．2mm)用作电极，两个电极中间夹一层云母介质(厚 cm)。 耗和热能损失强，可以抑制高气压等离子体辉一弧转化的不 度是0．7mm)。电极和云母层都是圆盘形的(直径为15 ITIITI， 稳定性，是产生大气压非平衡等离子体的重要手段[2’3]。 三明治结构的中心处开有一个小孔，小孔直径为0．5 目前，产生微等离子体射流的装置有：毛细管等离子体 小孔一端充入工作气体Ar和Nz，Ar和Nz的流速由数字流 电极放电[‘]、阴极边缘层放电【5]、微空心阴极放电(micro- hollowcathode 输出和地。微空心阴极装置与一个阻值为50Q的电阻串联， discharge)[6’引。微空心阴极放电(MHCD)是 一种新颖的、非平衡、高气压放电。它有相当广泛的应用， 通过测量该电阻上的电压获得放电电流。高压电源输出频率 包括废气处理、杀菌消毒、材料表面改性、薄膜沉积，以及 为50kHz的正弦波，峰值电压为O～lOkV可调，高压电源 作为光源的准分子灯和微型连续准分子激光器等。同时它还 DS06054B，500 有可能产生大体积辉光放电等离子体，因此有更加宽广的应 字示波器(Tektronix MHz)记录。放电的发 用前景。由于微空心阴极放电有这样广泛的应用前景，近年