8-12英寸先进半导体工艺研发平台环境影响评价报告书【荐】.pdfVIP

8-12英寸先进半导体工艺研发平台 环境影响评价报告书 简本 建设单位：上海集成电路研发中心有限公司 环评单位：上海师范大学 2010 年9 月 上海环境热线 1、 说明 上海师范大学受上海集成电路研发中心有限公司委托开展对 8-12 英寸先进 半导体工艺研发平台环境影响评价。现根据国家及本市法规及规定，并经过上 海集成电路研发中心有限公司同意向公众公开环评内容。 2、 项目概况 （1） 工程名称：8-12 英寸先进半导体工艺研发平台 （2 ） 建设单位：上海集成电路研发中心有限公司 （3 ） 建设性质：新建项目 （4 ） 项目内容：在原有芯片厂房内，已有中试线基础上，建设一个净化级别 n c 为 1000-100 级，面积约 800-1000 平方米的洁净室，同时配套部分工艺设 v. 备，形成一个 8-12 英寸、工艺能力可至 90-65 纳米的工艺研发平台。 o （5 ） 建设地点：张江高科技园区 14 街坊 3 丘（高斯路 497 号芯片厂房内） g . 3、 所在地区域环境质量现状 r i （1） 环境功能区划 v n 根据上海市环境空气质量功能区划规定，项目所在区域为环境空气质量二 类区。 e . 根据上海市水环境功能区划规定，项目所在区域地面水环境为Ⅳ类功能 w 区。 w 根据上海市噪声功能区划，项目所在区域声环境为 2 类功能区。 w （2 ） 环境现状质量评估 ① 大气环境现状质量评估 根据大气现场监测数据来看，建设项目所在地的环境空气质量状况优良， 达到《环境空气质量标准》（GB3095-1996 ）中的二类标准要求，各污染因子 均有较大的环境容量。 ② 声环境质量现状评价 根据噪声现场监测数据来看，本建设项目四周边界噪声达到了《声环境质 量标准》（GB3096-2008 ）中的2 类标准要求。 上海环境热线 4、 评价范围 本项目工艺主要为芯片制造工艺，产生的主要污染物为废水、废气、噪声 和固体废物。因此项目的环境评价范围为： （1）水环境影响评价工作等级 本项目生产废水主要为酸碱废水、含氟废水、CMP 废水以及纯水生产排放 水以及生活污水。以上各废水经废水处理系统处理达标后纳管排放至上海市白 龙港污水处理厂。 因此，本项目不进行地表水环境影响评价，仅进行纳管排放的可行性分 析。 （2 ）大气环境影响评价工作等级 n c