电子束制作高分辨率波带片图形数据研究.pdfVIP

维普资讯 第2期 微细加工技术 No．2 2005年6月 MICROFABRICATION TECHNOLOGY Jun．。2005 文章编号：1003．8213(2005)02．0028．06 电子束制作高分辨率波带片图形数据研究 王德强，康晓辉，谢常青，叶甜春 (中国科学院微电子研究所微细加工与纳米技术实验室，北京 100029) 摘要：根据圆环内部和相邻环分割单元之间的位置关系，设计了无间隙拼接处对齐和 错开、有间隙拼接处对齐和错开四种结构模型。通过分析和比较这四种不同结构的 高分辨率波带片图形数据，给出图形数据量和剖分单元数的变化关系曲线。根据扫 描电子显微镜得到的实验结果，决定采用无间隙拼接处错开的模型。在使用负性抗 蚀剂SAL60l，电子束曝光剂量35C，前烘温度75℃等条件下，制作出了最外环宽 度为250nm的波带片。 关 键 词：电子柬；波带片；双曝光；临近效应 中图分类号：TN305．7 文献标识码：A 1 引言 提出，并用该方法制作了波带片。这种方法 的缺点是作为吸收体的碳材料环带对软x 最早的波带片是Righlv于 1871年发明 射线的吸收较低且极难控制，所制作的波带 的…1，它由一系列黑白相间且面积相等的同 片聚焦效率极低；激光全息法最先 由 心环带构成。一百多年前人们就提出了采用 Schmahl和Rudolph等7【-8J发展起来的。缺 波带片来对X射线进行聚焦的办法，这就是 点是对曝光图形有严格对称的要求，而且加 衍射光学元件的雏形，但是由于当时加工技 工精度不高，加工图形质量较低；电子束直写 术的限制，这方面的工作一直进展缓慢。波 是因制作微电路而发展起来的一种微细加工 带片主要应用于高分辨率成像，例如x射线 技术，用它产生波带片图形的方法早在 1972 显微束成像和惯性约束核聚变等离子体诊断 年就由Sarye[9]提出，由该方法制作出的波带 技术等方面[I3]。用于制作深亚微米波带 片具有精度高、重复性好、可靠性高以及图形 片的主要方法有：溅射切片法、电子束碳污染 质量高等诸多优点，目前国外主要采用电子 法、激光全息法和电子束直写法l4J。溅射切 束直写的方法制作高分辨率的波带片。由于 片制作波带片的思想最先由Rudolph等5【J于 合理的版图设计和正确的数据处理是电子束 1981年提出来的，这种方法的缺点是精度很 制作所必须的，本文根据电子束制作的要求， 低；电子束碳污染法是由Michette等l6J首先 对高分辨率波带片中图形数据的数据模型和 收稿日期：2004-10-21；修订日期：2005—01-19 基金项目：国家自然科学基金资助项目60290081；9027004) 作者简介：王德强(1978一)，男，河南焦作人，博士，主要从事微光学元件制作研究；康晓辉(1980一)，男， 河南人，硕士，主要从事光学临近效应校正方面的研究；谢常青(1971一)，男，广西人，高级工程师，主要从事深 亚微米和亚微米技术等微细加工技术研究。 维普资讯 第2期 王德强等：电子束制作高分辨率波带片图形数据研究 ’29 工艺过程进行了研究，并得到了具体的实验 为若干矩形和梯形。该电子束曝光机的最小 验证。 束斑为8nm，最大曝光场为80 m×80 m， 这样在相邻的矩形和梯形间会出现双曝光． 2 微光刻图形数据介绍 使其连接处出现 “鼓包”现象|ll。实验中得 到的扫描电子显微镜(sc