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年第 期 2010 9 农业装备与车辆工程 No．9 2010 （总第230 期） AGRICULTURAL EQUIPMENT VEHICLE ENGINEERING （Totally 230 ） 【 设计与研究 】 doi ：10．3969 ／ j．issn．1673－3142．2010．09．001 MEMS 传感器技术在汽车上的应用研究与展望 黄军辉，杨旭志，陈述官，廖中文 （广东农工商职业技术学院电子与信息工程系，广东广州 510507 ） 摘要：为了满足汽车电子化、智能化的需要，越来越多的 MEMS （微机电系统）传感器应用到汽车上。 本文对主 要的几种汽车MEMS 传感器的应用状况和研究现状进行简述， 并且对压力传感器和微加速度计的设计缺陷 进行研究。 同时，结合MEMS 传感器的特点和车载传感器的要求，对汽车 MEMS 传感器的发展提出几点建议 和展望。 关键词： 微机电系统；MEMS 传感器；汽车；综述 中图分类号： 文献标识码： 文章编号： U463.6 A 1673-3142(2010)09-0003-04 The Research and Prospect on Applications of MEMS Sensor Technology in Automotive HUANG Jun－hui ， YANG Xu－zhi ， CHEN Shu－guan ， LIAO Zhong－wen （Department of Electronics and Information Engineering ，Guangdong AIB Polytechnic College ， Guangzhou 510507 ，China ） Abstract ： In order to meet the needs of automotive electronics and intelligence ， an increasing number of MEMS （Micro Electro Mechanical System ） sensors are applied to the car． In this paper ， the present application and the current research of several major ， ， automotive MEMS sensors are introduced and the design flow of micro pressure sensor and accelerometer are studied． Meanwhile combine the characteristics of MEMS sensors and the requirements of vehicle sensors ， a few suggestions and prospects on the development of the automotive MEMS sensors are offered． Keywords ： micro electro mechanical system ； MEMS sensor ； automotive ； summarize [5] 器并且汽车越高级，采用的 传感器越多 。 1 引言