环境扫描电镜与其应用邵曼君(中国科学院化工冶金研究所,北京1000.pdfVIP

环境扫描电镜及其应用* 邵 曼 君 (中国科学院化工冶金研究所 ,北京 1 0 0 0 80 ) 摘 要 叙述了环境扫描电镜 (ESEM )的成像原理——— 电子信号气体放大原 理及其与常规扫描电镜 (SEM )的区别 ,介绍了我国第一台带高温台的 ESEM . 综述了近年来国外学者应用 ESEM 开展的一些研究工作 .介绍了中国科学院化 工冶金研究所应用 KYKY1 50 0 型 ESEM 对金属表面氧化反应中晶须 /晶粒生长 过程的研究 . 关键词 环境扫描电镜 ,成像原理 ,应用 ENVIRONMENTAL SCANNING ELECTRON MICROSCOE AND ITS APPLICATIONS Shao Man jun (Institute of Chemical Metallurgy ,The Chinese Academy of Sciences, Beijing 1 0 0 0 80 ) Abstract The principle of image for mation and the contribution of gas to the amplification of signals in an environmental scanning electron microscope (ESEM )are described .The wide range of applications to the material and biological sciences is reviewed . Also presented are our studieson the process of gas/solid reactions, such as nucleation and growth of oxide whiskers/ grainsin the oxidation of iron ,reduction of ironoxide,desulfication etc.with the firstESEMmade in China . Keywords environmentalscanningelectronmicroscope (ESEM) ,imageformation ,applica tions 环境扫描电镜 (environmentalscanningelectronmicroscope ,ESEM)是近年发展起来 的新型扫描电镜 .它与常规扫描电镜 (SEM )的主要区别在样品室 :常规扫描电镜样品 室真空度必须优于 1 0 -3 Pa ,绝缘样品需要表面金属化 ;而 ESEM 的样品室通入气体 处于低真空的 “环境”状态 ,根据气体电离及放大原理 ,非导体及含水样品可以不经 表面喷涂处理 (喷金或喷碳 )就能直接观察 .ESEM 扩大了 SEM 的应用领域 ,随着 ESEM 的逐渐完善 ,有关应用 ESEM 仪器的论文逐年增多 . 本文将简单地介绍 ESEM 的成像原理和我国第一台ESEM (KYKY1 50 0 型 )的特点 , 以及ESEM 在物理､材料､生物科学等方面的应用和我们近年来开展的工作. 1 环境扫描电镜的成像原理 在高真空的常规扫描电镜中 ,用标准的 EverhartThornley 探测器来接受被高能入 射电子激发的样品的信号电流 (二次电子和部分背散射电子 ) ,经放大后形成图像 . 由于这类探测器中的闪烁体光电倍增管探头上加了几千伏的电压 ,因此只能在高真空 下工作早年就有人做过在通气的环境下用电子光学原理观察样品形貌的成像原理研究 , 但完整的 ESEM 技术的建立在 80 年代 ,其中澳大利亚的Danilator[1 ]和英国的Farley 与 Shah[2 ,3 ]在成像的机理及电镜的技术上做了不少的工作 . 环境 SEM 成像原理及电子探测器的机理可以简单地用图 1 来描述[4].图中 ,由电 子枪发射的高能