背极板刚度对硅微电容传声器性能影响.pdfVIP

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2015-07-20 发布于江苏
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背极板刚度对硅微电容传声器性能影响.pdf

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Pt．2 第27卷第4期声学技术 V01．27，No．4 2008年8月 TechnicalAcoustics Aug．，2008 背极板刚度对硅微电容传声器性能的影响何庆，乔东海 (中国科学院声学研究所，声学微机电实验室，北京，100190) 摘要本文采用等效电路模型对硅微电容传声器建模，在该模型的基础上进行理论分析和数值计算，讨论了背极板应力对硅微电容传声器性能的影响．结果表明，背极板刚度与振膜刚度可比拟时，会使传声器灵敏度有所降低；背极板刚度对高频灵敏废的影响大于低频；降低空气隙的粘滞阻尼有助于减小背极板刚度造成的影响．关键词硅微电容传声器背极板刚度频率响应 Effectsofback Oilthe ofaMEMS platerigidityperformance condenser microphone HE Qing，QtAODong-hai Institute @也溺laboratoryofthe ofAcoustics,ChineseAcademyofSciences,Beijing,100190) AbstractInthis onalumped circuitoftheMEMScondenser paper,based parameterequivalent microphone， arecarried theoreticalandnumerical out．Theeffectsofback stressonthe of analysis computation plate performance the arestudied．Theresultsindicate：iftheback is toits of microphone platerigiditycomparablediaphragm,sensitivity the willbe endismole toback thanthelower microphonereduced；thehighfrequency susceptibleplaterigidity one； theviscous air is minimizetheback ofthe to influence． and,reducingdamping gaphelpful platerigidity wordsMEMScondenser Key microphone，backplate，rigidity,frequencyresponse 1引言以往的MEMS电容传声器模型通常把背极硅微电容传声器也称MEMS电容传声器，板视为刚性结构，很少考虑它对传声器性能的影是一种应用前景广阔、市场潜力巨大的新型传声响。实际上，背极板材料、尺寸以及板中应力水