原创力文档- 1、本文档共4页，可阅读全部内容。
- 2、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
ITO薄膜的制备以及性能的研究.pdf
30 2011 (42)
*
IT O
董科研, 周 明, 王静静, 吴小麟, 高传玉
( , 212013)
: 在室温条件下通过直流磁控溅射法在普通 , 20min ,
玻璃 体上制备了光电性能优良的IT O 薄膜靶材 3~ 5 , ,
2 3 2
为IT O 陶瓷靶, 其中In O 与SnO 的质量比为91 100 , 30min ,
运用U V2550 紫外可见光光度计测量样品的透光率,
采用SZT2 四探针测试仪测量样品表面的电阻率, 用 Ar ,
扫描电镜( SEM) 对样品进行表征研究了溅射压强 5mm, ITO 12
溅射功率等参数对薄膜光电性能的影响研究表明, 1 ITO
IT O 薄膜的电阻率随着溅射功率的增大而减小, 在溅 Table 1 T he preparation of ITO films under different
射功率为110W 时IT O 薄膜的透光率有相对好的数 sputtering pow er
值溅射压强为1. 0Pa 时既能保持 ITO 薄膜低的电 样品 Ar 流量 溅射时间 溅射压强 溅射功率
阻率又能保证高的透光率 代 号 ( ML/ L) (m in) ( Pa) (W)
: ITO; ; ; 1 40 30 1. 0 50
: TB332; O484; TB43 : A 2 40 30 1. 0 80
: 2011) 030 04 3 40 30 1. 0 110
4 40 30 1. 0 140
1 5 40 30 1. 0 170
2 ITO
( ITO) n
, Table 2 T he preparation of ITO films under different
sputtering pressure
[1] 样品 Ar 流量 溅射时间 溅射压强 溅射功率
,
代 号 ( ML/ L) (m in) ( Pa) (W)
a 40 30 0. 4 110
IT O
b 40 30 0. 110
,
c 40 30 0. 8 110
, d 40 30 1. 0 110
文档评论（0）