电子显微分析在材料研究中的应用.pdfVIP

2014/5/19 《材料分析及测试技术》本科生课教改探索（一） SEM及其在材料研究中的应用 主讲人：赵鸣 二○一四年五月 国家重点实验室 Key Lab of Integrated Exploitation of Bayan Obo Multi-Metal Resources 交流提纲 1 SEM在显微形貌观察中的作用 2 SEM及其工作原理 3 SEM成像所需的电子信号 4 二次电子像原理及其应用 5 背散射电子像原理及其应用 6 SEM样品制备 国家重点实验室 Key Lab of Integrated Exploitation of Bayan Obo Multi-Metal Resources 1.SEM在显微形貌观察中的作用 显微组织分析方面： 1. 宏观晶态粉体的晶体结构 →XRD 2. 纳米级微区的形貌及结构同位分析 →TEM 3.显微形貌的观察 →肉眼：宏观材料→0.1mm →光学显微镜：~1千倍； →1千~10万倍→SEM 国家重点实验室 Key Lab of Integrated Exploitation of Bayan Obo Multi-Metal Resources 1 2014/5/19 国家重点实验室 我校的QUANTA 400环境扫描电子显微镜 Key Lab of Integrated Exploitation of Bayan Obo Multi-Metal Resources 2. SEM及其工作原理－SEM定义及特点 SEM是以电子束作为照明源，用 聚焦得很细的电子束以光栅状扫 描试样表面的同时，收集激发出 的信号，进行调制成像电子显微 形貌分析设备。 →1. 放大倍数20-20万倍之间连续 可调； 2.景深大，视野大，成像富有 立体感，可直接观察各种试样凹 凸不平表面的细微结构； 3.试样制备简单； 应用：冶金矿产、生物医学、 材料科学、物理、化学、机械、 4.SEM+电子探针：显微形貌观 半导体制造和微电子检查等领 察和微区成分分析。 国家重点实验室 域等领域。 Key Lab of Integrated Exploitation of Bayan Obo Multi-Metal Resources 2. SEM及其工作原理－SEM的结构组成 2.1 基本结构 电子光学系统 真空系统 信号收集处理系统 图像显示记录系统 国家重点实验室 Key Lab of Integrated Exploitation of Bayan Obo Multi-Metal Resources