原创力文档- 1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
第36卷，增刊 红外与激光工程 2007年9月
V01．36 InfraredandLaser
Supplement Engineering Sep．2007
高精度多功能激光准直仪的研制
李田泽1，‘谭博学1，马立修1，卢恒炜1，袁江2
(1．山东理工大学电气与电子工程学院， 山东淄博255049；
2．南通大学机械工程学院， 江苏南通226007)
摘要：阐述了光电位置敏感器件(PSD)的结构、特点、工作原理及其非线性，提出采用电桥
理论分析PSD非线性误差的新方法．在此基础上，采用高精度低温漂高输入阻抗前置放大器、加法
器、减法器，除法器等电子元器件，对改进型的2D—PSD的信号调理电路进行了设计与调试；使用
连续发射的激光光源、分光器、滤光器等光学元器件，设计了一种消除光束漂移的光学系统。通过
对数据采集系统的研究、设计，研制开发出直线度的测评软件与研制的高精度多功能激光准直仪相
结合，对直线度进行了实时测试与分析，并给出了实验测试结果及其仪器进一步改进的方法，最后
对仪器的应用前景作了展望。
关键词：激光准直仪； 横向光电效应； 非线性分析； 电桥理论
中图分类号：TNl5文献标识码：A
Manufactureof multi-functionlasercollimator
high—precision
LI
Tian—zel，TANBo—xuel，MALi—xiul，LU
Heng．weil，YUANJian92
ofElectrieandElectronic
(1．School 255049，China；
Engineering，ShandongUniversityofTechnology,Zibo
2．SchoolofMechanical 226007。China)
Engineering，NantongUniversity,Nantong
the and of
Abstract：Expoundstructure，character,workprinciplenon—linearityPSD(Position
kindof
sensitive new methodwhich．is is the
detector)．A nonlinearity
bridgetheoryput analyze
forward．to
errorofPSD．Basedon someelectric the
that，use low—temperature
components，forexamplehigh—precision
drif
文档评论（0）