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RF Atom source 射频原子裂解源 技术参数 工作气体：一氧化氮 Discharge gas: NO 放电区材料：氧化铝陶瓷 Discharge zone material : Alumina 氧化铝陶瓷孔槽片规格：276孔数 每孔直径为0.3毫米, 与槽片平面成90O Hole configuration of Alumina Aperture：A Alumina Aperture hole configuration of 276 holes X 0.3 mm (at 900 angle to plane of plate) 放电管冷却方式：水冷 Discharge tube cooling: Water 安装法兰规格：NW63CF (114 mm / 4? 英寸 外径) Mounting flange: NW63CF (114 mm / 4? inch O.D.) 仪器在真空室内的直径：57 毫米 Diameter in vacuum: 57 mm 仪器标准长度：314毫米 Standard length：314 mm 离子偏转板及其电源：包括, 500伏恒电压 Ion deflection plates with power supply: Included, 500 V Fixed Voltage 气体原子束流在出口处的直: 25 毫米 Beam diameter: 25 mm 气体质量流量计：包括, MFC-10，0-10sccm ,for O2 Mass Flow Controller：MFC-10, Included, 0-10sccm ,for O2 气体导入连接：外径为34毫米的咪你凸缘法兰 Gas introduction connections: 34mm OD mini CF flange 最大功率：600瓦 Maximum power: 600 W 射频电源：不包括 RF power supply：not Included 射频电缆线：包括, 5 米长 RF cable: Included, ~5 meters standard length 射频功率匹配方式：自动 Tuning: Automatic Tuning 全自动调谐控制系统： Fully Automated Control System 1）全自动调谐单元：含有 1）Automatic matching unit：Comprising 全自动调谐替代手动调谐转换功能 replacement of manual tuning by automatic tuning 配有用于测氮激发光的光发射探测器(OED) Optical Emission Detector (OED) with filter for N2 2）控制器：含有 2）Controller：Comprising 射频电源交互界面 Interface to RF power supply 离子偏转板电源 Ion deflection plates power supply 等离子控制功能 Plasma Control 质量流量计控制截面和电源 Mass Flow Controller interface and Power supply unit 水流阀：包括 Water flow switch: Included 备件：一个氧化铝陶瓷放电管，一个氧化铝陶瓷孔槽片（276孔数 每孔直径为0.3 毫米, 与槽片平面成90O） Spare parts：One Alumina Discharge tube; One Alumina Aperture Plate (Aperture hole configuration of 276 holes X 0.3mm at 90O angle to plane of plate)