光电集成测速硅静电微晃动马达.pdfVIP

齐臣杰候或刘理天 清华大学微电子所北京100084 摘要本文采用微马达与光电二极管—起集成，组成光电测速系统。在马达转子下面 集成几个光电二极管，利用反偏二极管的暗电流和亮电流的变f￡来测量马达的转速。它提 高了马达的测速范围，解决了视额摄象测速系统测速低的问题。此外，它还具有铡试方便， 工艺兼容、准瞻葛皖点。还可以制成蝴。成为光、机、电的姬蜗系统。 一、引吾硅加工工艺成熟使集成电路加工尺寸可以做到深亚微米，解决了静电马 达的机械加工橇赛问题；转子与定子两个正负电极的距离大大缩小，使工作电压得到大幅 匀：报道了静电微电动机乜]。用集成电路加工工艺制作静电马达静粥嘛糟魄来娴。初始 的研究在可行性b逐渐转向设计规则、关键工艺以及马达驱动力矩方面盼研究。在微马 达研制自嘲期，无论是国内还是国外，如果没有气悬浮，马达是无法电启动翰促使人们 研究马达的摩擦力，发现错卿蝴的摩擦力与宏观摩擦力有很大差别。最近月年静电马达 的研究主要集中在马达的摩擦、磨损的测量上[3】。马达的摩擦与磨损可|三l：通过微马远的啮 合比的变化情况得到。啮合比定义为外界激勖频率与马达转速之比。在目前，转速测量还 是用视频摄象法。它的目＆速范围小，澳吐量复杂。因此，本文提出光电集成跚逮法。 9 二、演l速原理晃动马达的转速(转缈)是最普通和重要的—个参数。需要一种 简单方便、可靠性高、测量范围广的测量方法来测量静电撒晃动马达的转速。以前，静电 微晃动马达的转速测置采用摄像测遽方法嘲，测量起来比较复杂。它币q用O∞摄像头拍 摄静电稳嘎I动马达的转动情况，并转录蛩壕值带里，再通过对录像带中的图像进行分析计 算来得到该静电微晃动马达的转速。对于普通摄像头，其采样速率仅为24帧‘眇．若转子 有6根条幅，它所能澍量的最高转速仅为240辅分。这已臣不自激当前静电微晃动马 达的技术水平。即便是采用高速摄像头，其测量范围也很有限。此外，测量时需要额外的 鳓日*}各，如高速摄像头、录像机等等，而这些设各都是比较昂贵的。另外，安装、调试 过程都比较麻烦，撰I量过程也比{交复杂，不便于燃得到准确的测量结果。 光电集成澜速法，就是在制造静电微晃动马达的同时，集成几个光电二极管作为 测速电路。来浏囊该静电微晃动马达转速。这种浏速方法深刻地体现了微电子技术中的集 成化思想。光电集成测速静电微晃动马达的剖面伢如图1所示。图2是光电集成测速静电 德黝马达的项视豳，转子中有—圈为加速腐戗鼎剃握丽刻出的缺孔，光线可以从中穿过， 照射刭转子的下方。在睁电微晃动马达的转速测量过程中，把—束光垂直地照射到转子的 表面上，如图4所示。随着转子的转动，—会儿转子上的条幅挡住了^射光线，使其不能 照射§啭子下方的光电操测PSI结上，—会儿^射光线穿过转子E的缺孔．直接照射到转 子下方的光电濑《PN结上，光电探测PN结加E反向偏压。在没有光照到PN结上时，PN 结处于反循涨态，它的反向电流是很小。此时流经光电探测PN结的电流为暗电流。当有 一定频率和强度的光照到该光电剿4PN结上时，由于在结的势垒区中将发生光生伏睁效 应，在结中将产生光生电流(光生电流的大小取决于照射光的强度)。这使得该光电探测 PN结中的反向屯流增大。此时凇光电探测PN结的电菥溺’为亮电流。 ● 畦◇ 在外电路中，流经该光电探测PN结的反向电流会呈现如图5所示的交替的明暗电流 脉冲波形。通过外接—个电阻，就能把E述交替的明暗电流脉冲波形转化为类似的电压波 形，从而在示波器t成功地检测出这种信号。根据示波器E测量的电压波形的—些时间参 数和静电微晃动马达转子的—些结构参数，i蝴单的计算推得静电德幌动马达的转速和 变速比例A。 图5。光电PN结测速时的明暗电流脉冲波形 设转子上有口根条幅，相应的有／7个缺孔(n是在版图设计时就已确定)。再设