光调制红外热像仪的设计和有限元模拟.pdfVIP

光调制红外热像仪的设计与有限元模拟 张流强扬根庆解健芳陈芬扣韩明 传感技禾国家重点实验室，中科院上海冶金研究所，上海200050 ■ +E-mail：曲∞舀q@itsw．sim．ac．cn 摘要 本文描述的新型热像仪是一种基于微机械技术的光调制热成像系统，它采用光调 制原理来实现像转换和像增强，其核心是一个采用与CMOS工艺相容的微机械技术制作的光 ● 调制熟成像器件．文中叙述了器件的设计和建模，通过一种简化的悬臂梁理论对器件性能 进行了估算，并对双材料粱的设计进行了优化．采用ANSYS5．4程序对设计的器件进行了 mS． 有限元模拟，得到的灵敏度和响应时间分别为0．03m／w和6 关键词 热像仪光调制热成像器件红外传感光调制微机械 微光夜视仪(LII)和热像仪f订s)是夜问观测的两种主要手段。到目前为止，尽管这些仪 器都得到了很大发展，由于自身特点以及材料和制备方面的困难。这些仪器或系统仍存在 一些不足。近年来，微机槭技术或微电子机械系统的迅速发展使得这一现状有可能得到改 观【I·3】。 本文提出了一种新颖的热成像系统——光调制热像仪(LMTIS)．这种热像仪集像转换和 像增强于一体，其核心器件是由微机槭工艺制作成的一块芯片一一光调制熟成像器件 (LMTID)。与传统的微光夜视仪或热像仪相比，该系统采用了一种截然不同的像转换和像增 强原理：其像转换不是一种红外一电一可见光的转换过程，丽是一种红外一位移一可见光 转换过程：其像增强也不是通过电子倍增来实现，而是通过光子倍增来实现。由此可见， 该系统是一种全光系统，无需任何处理电路。该系统具有一系列潜在的优点：灵敏度高、 填充率大，响应时间短、显示亮度高，体积小、能耗低。此外，该系统还具有可在室温下 工作的好处，无需笨重的冷却系统。 光调制热成像器件是一mxfl阵列，其每一个像元由一个平面微镜和一个固定在基片上 的热弹性元件(三个对称的螺旋形双材料粱)构成，如图I所示。工作时，红外辐射酋先 在光调制热成像器件的基片(涂有红外吸收涂层的单晶硅片)上形成有梯度的温度场。由 ● 于热弹性元件直接固定在基片上，基片上的热流将沿着它向上传递，这样，不同的温度将 使热弹性元件发生不同的伸缩变形，从而使固定在其上的微镜产生不同的纵向位移。可动 微镜与一固定镜面构成迈克尔逊干涉装置，因此微镜的位移将对出射光束进行调制．相应 地，红外图像也就转换为增强了的可见光图像，如图2所示。 为简化设计，把作为热弹性材料的螺旋形梁简化为一直条形悬臂粱模型，将微镜等效 为一位于悬臂粱末端的质量块，并假设热能集中从悬臂梁的一端输入，另一端保持为环境 温度，且悬臂梁不向闽围空气散热。根据悬臂粱理论【2，4】，可以推算光调制热成像器件的 性能参数。不同双材料组合情况下的器件灵敏度S对双材料粱厚度比n的关系曲线如图3 所示。显然，对每一种材料组合都存在一个晟佳的厚度比值n。使得灵敏度S最大。图4则 显示了等效热噪声能量、壬，。作为厚度比的函数关系曲线。通过使■。。最小化，可以得到又一 个最佳厚度比no眦，但该厚度比近似等于通过使给定了材料和几何参数的灵敏度最大化而得 到的优化值。对给定双材料梁的LMTID的设计进行优化．其结果如表2所示，使用的参数 !!翌! 一一 列于表1。 表1、理论计算中采用的材料性能参数