我国的厚膜力度技术的现状及其发展.pdfVIP

S1℃’99 我国厚膜力敏技术的现状及发展 马以武常慧敏宋箭 (中国科学院合肥智能杠械研究所．传感技术国莩重点实验室，230031) 【摘要】本文概述厚膜力敏传感技术的技术特点，国内十多年来研究、开发的现状和发展。 介绍了目前厚膜力敏传感器各品种的性能及应用。讨论并探讨了加快我国厚膜力敏技术创新 和产业化的若干问题及建议。 关键词：厚膜力敏现状发展 矗 1．引言 近年来作为信号检测、信息获取的传感技术日益受到世界范围内的高度重视。传感技术 已和计算机技术、通讯技术己成为当今电子信息技术的三大支柱，并成为发展最为迅速的技 术学科之一。其发展水平不仅是一个国家综合实力的主要标志，同时也是“所有各类技术之 基础，推动各行业技术进步之关键”。 在整个传感器领域中，力敏传感器是应用可最广、需求量和销售量最大的品种。涉及力、 压力，加速度、液位等多种物理量的测试和转换。长期以来，国内外力敏传感器一直以电阻 应变式为主，其中主要是金属箔式、半导体硅压阻式两种。金属箔式应变计灵敏度低、应变 系数仅为2，采用应变腔粘贴，易受温度、湿度等环境条件影响，并随时间老化，产生零点 漂移，迟滞增大，传感器性能随时间变化；半导体硅压阻式应变系数高，然而因材料对温度 非常敏感，环境温度影响大，工作温度范围窄(一般不超过60c)，而且测量腐蚀性流体压力 需要隔离、结构复杂、成本高，使其应用受到限制。近年来，虽有薄膜应变式等新型力敏传 感器出现，但困成本高等多种因素，难以满足日益增长的石化、冶金、工业过程控制等需求。 厚膜力敏应变电阻为具有较高应变系数的厚膜应变电阻，弹性体采用高性能A120，陶瓷 制作．而且运用厚膜工艺将应变电阻直接印烧在弹性体上，无需粘贴，应变电阻即能和弹性 体牢蠲地成为一体，性能优良、工作温度达100C以上，蠕变小、迟滞小，已成为耐高温、 抗腐蚀、性能／价格比高的新型电阻应变式力敏传感器。 2．1概况和特点 厚膜力敏传感器是基于厚膜电阻的压阻效应丽发展起来的。70年代初，Holmes在进行 厚膜电阻的可靠眭研究中发现厚膜电阻的压阻效应。80年代初，意太利的Maria．Pmdenziati 等将其应用于力学量传感器上。我国则于80年代中期通过中科院合肥智能所科技攻关，88 年作为“七五”科技攻关成果研制成功厚膜压力传感器，填补了国内空白。 厚膜压力传感器与其它应变式压力传感器虽然均为电阻应变式传感器，但主要差别有两 点：一是其应变电阻采用厚膜应变电阻；二是弹性体采用95％AL01陶瓷。厚膜应变电阻直 接印烧在陶瓷弹性体上，和弹性体牢固地成为～体。长期载荷，厚膜应变电阻和弹性膜片的 应变保持一致，避免了常用应变式传感器园胶粘贴应变电阻所引起的蠕变、迟滞。厚膜应变 电阻目前常用钉酸盐厚膜电阻。应变系数高(GF为lO左右)．性能稳定．耐高f氐温．其温 片。弹性和刚性好，长期工作无任何塑性变形，耐腐蚀、耐高温。不用隔离。可直接和腐蚀 性酸、碱等气t液)体接触．同常见的扩散硅、箔式金属应变计力敏传感器相比．厚膜压力 传感器具有耐腐蚀，工作温度范围宽．蠕变小．性能稳定．性能价格比高等优点． 毒 十多年来，通过科技攻关．厚膜力敏在我国已从无到有，方兴未艾．国内厚膜压力传感 器的性能日臻完善，量程已由88年的0-～2MPa扩展为0—002’一25MPa。产品已系列化。主 要性能达到国际先进水平，受到国内用户好评。销量白93以来．逐年增长．采用厚膜压力蕊 片组装的压力变送器．远程压力表．液位计等已广泛应用于石化．电力．冶金等行业．应变 式厚膜力传感器、厚膜集成压力传感器．0～IKPa～10KPa厚膜微压传感器等新品种也已相 继阅世，并具有自主知识产权。对厚膜力敏功能材料的研究也取得一定深度和进展，臼行研 力敏技术作为国内外倍受关注的新型传感技术。己成为传感技术领域的高新技术和前沿之一． 2．2主要品种和性能 (n压力