甲烷浓度对批量生产金刚石涂层刀片的影响.pdfVIP

维普资讯 第 25卷第 3期 硬 质 合 金 2008年 9月 vo1．25 No3 CEMENTED CARBIDE Sep．2008 -ls 业工恭 业技术艺恭带带 鬃 ． 甲烷浓度对批量生产金刚石涂层刀片的影响 满卫东 谢 鹏 汪建华 孙 蕾 余学超 (武汉工程大学湖北省等离子体化学与新材料重点实验室，湖北武汉，430073) 摘 要 采用微波等离子体 CVD(MWCVD)法小批量地生产了金刚石涂层刀片，在金 刚石薄膜沉积的过程中，研究了碳源浓度对沉积金刚石膜的均匀性的影响。用扫描电 子显微镜(SEM)和激光拉曼光谱 (Raman)对薄膜 的表面形貌和质量进行 了表征 。结果 表明较低的低 甲烷浓度适合金刚石涂层刀片的批量生产。 关键词 金刚石涂层；硬质合金刀片；微波等离子体化学气相沉积；甲烷浓度 金刚石具有许多优异的性能，如已知材料中最 刚石薄膜的生长速率，可以大大的提高生产效率 ，但 高的硬度、低摩擦系数、高导热率、高的抗热冲击性 是对质量和均一性是否有影响，我们不得而知。因 及高弹性模量 ，是刀具材料的理想涂层材料n】。天然 此，本文将用微波等离子体CVD法小批量生产金刚 金刚石及高温高压人工合成金刚石因其粒状形状及 石涂层刀片，同时研究了甲烷浓度对批量生产金刚 昂贵的价格 限制了其应用范围。CVD法合成金刚石 石涂层刀片的影响。 薄膜因其薄膜状形态，扩展了其应用范围，是刀具涂 层的最有竞争力的候选材料2【】。 1 实验 WC—Co硬质合金 因其有优异的机械性能及与 金剐石较为相近的热膨胀系数成为金刚石涂层刀具 实验在 自制 的微波等离子体化学气相沉积 的首选基体材料，但因存在金刚石薄膜与刀片基体 (MPCVD)装置上进行 ，其大致结构见参考文献[13]。 附着力较差等缺点，使得金刚石涂层刀具产业化遇 微波源由实验室 自行研制 ，频率为 2．45GHz，最大输 到很大障碍。本实验室前期在解决刀片附着力问题 出功率为9kW，可以长时间稳定运行。基片放置在直 上做 了很多研究[3-切，很大程度上 已经改善了膜基附 径为 142mm的水冷圆柱形反应腔内，基片的温度可 着力差的情况 ，本文主要研究甲烷浓度对金刚石膜 以通过微波的功率和反应的气压来调节。反应气体 形貌的影响。 H H 通过质量流量计按照一定的比例通入反应腔 目前为了实现金刚石刀具的批量化生产 ，研究 体，腔体顶部有一个直径为 100mm的均流环。 的比较多的是热丝 CVD法 ，但是相对于微波等离子 实验采用株洲硬质合金厂生产的AIO1型YG6 体CVD法，热丝 CVD法制备的金刚石膜的硬度要 硬质合金刀片 ，尺寸 6．0mnix5．0mnix2．5mm。选用 比微波等离子体 CVD法制备的低。同时，微波等离 l8片刀片，分为两组 ，先在室温下用碱溶液清洗刀 子体 CVD法可以在对刀片进行前期的预处理如脱 片表面 的油污 ，再将 刀片放人 40℃恒 温 的硝酸 碳还原、渗硼(氮)等后，原位生长金刚石涂层 ，这样 (V(HNO3)：V(H：O)=l：4)中腐蚀 2rain，去掉刀片表面 可以节省批量生产的时间。高的甲烷浓度能提高金