装上新的自动换靶装置的负溅射源的总体试验及其负集团束研究.pdfVIP

装上新的自动换靶装置的负溅射源的总体试验 及负集团束的研究 杜光天、张继东、朱锦华、斯厚料、张维忠、张菖荣 中国科学院上海原子核研究所，邮编201800 摘要 简单介绍在机械和电控方面做了重大改进的自动换靶装置装到改进过的源体的总体试 验。集团束是目前核物理的研究热点，本文介绍用我们的源对c、si和舢等元素进行集 团束的研究结果。对影响集团束产生的因素及提高集团束流强的方法提出我们的见解。综 合世界研究结果，列表给出周期表各元素用强流负溅射源产生的负单原子柬和负集团柬的 流强。 关键词：自动换靶，负溅射源，负集团束 一、改进后的自动换靶负强流溅射源的总体试验 我们研制的负溅射源呲已在国内三台加速器质谱计(埘s)上运行九年。还有一台单靶 位的源供复旦大学作负离子和激光的相互作用研究。实验表明，源具有流强大、记忆效应 小和清洗周期长等优点。由于原来的自动换靶源尚需改进，因此我们对换靶装置的机械1： 和电控Ⅲ作了重大改进。同时，对源的靶对中和靶一电离器距离一致性作了较大的改进。 换靶装嚣完成桌上试验后，装到源本身作总体试验(图1)。实验表明．源有下列的特点： 1．源的靶值对中得到改善。溅射斑点的对中很好，丽EL束流的对中性也得到改善。 靶的机械对中精度优于±o．1m弧和、Ec的源的指标相同。实际f：，做到±0．05ram是可能的。 电离器一靶的距离一致{!!}!小于0．1mm。 2． 保留源的记忆效应小、流强大的优点。现在美固＼EC发展的源由干中性铯在靶表咖 的复盖1i充分，流强比我们的小。同时，它的测量靶和非测量靶同处一个溅射平【f【j．『叮|王 靶悯距离微小，其记忆效应应该比我们的源大。对r易挥发的7÷素，溅射物沉积到非测疑 S0 粑的情况便抖一1严r扛，找们的源测肇靶t-独伸进溅射【x，1r测绩靶储rr_|二靶轮}：，”f人大 降低瞳匕效I越， ：{，自动换靶装置I：作-叮靠，}乜控系统抗f‘扰能力强。返芷由f采j}J特跌的机械结构和采 }‘系列抗干扰措施的单片机控制系统．位置和靶码用红外发射一接收装置进行非接触 -℃检测，保证}：=期运行不影响精度，＼EC的源换靶用气动转靶轮，然后气动插销定位，据 说该机构尚有故障。读靶位是过零号靶定零点，然后根据气动开启推算靶位。它不是直接 测量。 4，操作方便。要换靶时，只要撤一下所需靶号的按扭，仪器便自动显示预置的靶 号，同时自动执行退靶～转靶一进靶，仪器不断显示执行过程中所经过的靶位及两台 步进电机总共执行的步数。需更换靶头时，关闭源本体及靶轮真空室之间的闸阀，向靶轮 真空室充大气，靶轮和大法兰沿着滑杆退出真空室，转一个角度便可很方便地更换靶头。 换好靶头后，大法兰推回真空室，予抽低真空，打开闸阀．源便立刻恢复工作。 二．用负强流溅射源产生集团束的研究及各元素产生集团束的能力 集团束(Cluster)是目前核物理研究的热点。当前，集团束和物质相互作用的物理模 型尚在探索阶段。负溅射源能产生很多元素的集团束。虽然集团比较小．但其集团的原子 数和能量是确定无疑的。这对物理模型尚不清楚的的阶段具有特殊的意义。另外，由于是 负集团束，研究集团束和绝缘体的相互作用有独特之处。因为本身是带负电，如果二次发 射系统为l，则平衡，且打出二次电子能量很低，不会引起电荷积累产生打火等麻烦。 1．我们研究过的集团束 ． a)，碳集团束 咐天然石墨和高纯石墨靶测出的束流谱分别如图2和图3所示。碳是集团束最多的 一个元素，【b于磁铁的限制我们的离子源产生过C!-C．二‘，而复旦大学得到过c60束。。天 然石墨石墨靶C,-：C1=0．5．而高纯石墨C：-：C1；l。Cl束流基本为130舭。我们还研究过 精碳粉+银粉的靶产7仁的流强，o：C。大致为1／2，但c?依制备一I，艺不同从40—80曲变 化。 b)，硅集闭束 悄单晶醚作㈣向谱线见图·1。我们用Si，作物理实验，大约5分钟柬流F降一半． S1 而Si。一下降慢得多。 c)，铝集团束 纯铝靶的束流谱线如图5所示。A1j比^1。一大7倍。绝大多数元素的集团束比单原子 束小．A1