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准光学谐振腔测高温超导表面电阻及其分布 槎荚蓉罗Lf三祥赖声礼 华南理l凡学电f匕通信l。群系 摘要：本文介纠了l作任94GHz，V?K的两球面镜组成的准光学谐振腔测 3x10 高温超导表面电阻及其分布的测试系统，腔体的Q值高达l 5，此方法具 有不损伤超导膜片，炙敏度商，样r铺的尺寸可调，弗能检测人面积超导薄膜表面 电阻的均匀性的优点． 关键词准光学睹振腔，高温超导薄膜，表面电阻，屯阻分布 引言 随着高温超导体侄微波、毫米波领域的广泛应用，高温超导无源器 什如超导延迟线、超导大线的没计和制作都需要知道超导薄膜表面电阻及其 均匀性，冈此表面电阻分布测试愈米愈显得迫切和重要。日前国内外有许多 测试高温超导薄膜表面电阻的测试方法¨-“．但是这些测试方法都只能测鼙 超导表面I乜阻的平均值，片不能获得薄膜表面电阻备处的分布信息。 本文设计和制作了|_作在94GHzF的开式谐振腔测试装置，通过标 准电阻校准法来获锝高温超导薄摸的表面电阻。开式谐振腔中高斯波束束腰 、|，释在样品表面只商25lmm，闪此凋1y移动装蕾，实现对大面积的高温超导 薄膜的¨描测试，即町获衙Z：同R域q，表面电阻Rs值． 1．测试原理 ，、．、 ，厂＼厂一／ 图l(a)由两个球曲镜组成的对称谐振脏(b)球面镜和平面镜构 成的’}，对称谐振腔，平面镜即是超导样r销，jF对称谐振腔腔体长度是对称腔 的一十。 谐振腔的衔射损耗0i起的值在107以上，可以忽略不计．则加载高温超 导膜片的谐振器l吉l有^^质冈数Q。表示为 一1：÷一+上 (1)。1 Q。 Q。 Q。， 其中Q。。。是镜面欧劳{损耗，Q。；是高温超导薄膜损耗． 々jfjIH‰ (2) ‰一产一观。 ds 々J』…2 咿 2Ⅱ H一 咖一 ％”q”瓦：=：『 胁 ：一r 以 虬土艇： Ⅲ一盯∞ 将(2)4N(3)式代入(1)式可得 玄刊+船mB ∽’ 其中A、B是电磁场积分的比值，是常数。虽然A、B的值可以通过 对电磁场的数值积分获得，但计算过栏较复杂。I周而我们采州标准电阻校准 QD2即可获得A、 法，洲茸两已知电阻值Rsl、Rs2所对应的品质闪数岛1氡j B的值。此方法避免了复杂计算，同时可以消除系统误芹。根据镜象原理， 对称腔体的对称面是一个理想导体煎，表面电阻为零。州此时空腔的Q值 缒常数A． (5) A：JQL。．IR一。 加载的另一样品选择已知表面电阻的银片，刚此高温超导薄膜的表面 电．阻为 (6) Rs= 矗妇 2．设计和制作 为了获得高。值，高斯束腰半径w。小的腔体，进行』，优比殴计．如 孔”I，一1、孔州距为4．73mm矩形波